弥费科技(上海)股份有限公司张国鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉弥费科技(上海)股份有限公司申请的专利可搬运晶圆盒的缓存设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693094U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423303969.4，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型可搬运晶圆盒的缓存设备是由张国鹏;张玉龙;缪峰设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本可搬运晶圆盒的缓存设备在说明书摘要公布了：本申请涉及一种可搬运晶圆盒的缓存设备，能够在晶圆盒搬运过程中保持平稳，包括机台、升降模组、第一摆动模组、第二摆动模组和夹持机构；其中，升降模组、第一摆动模组用以带动夹持机构移动，以拾取或释放晶圆盒；第二摆动模组用以使夹持机构相对于第一摆动模组的摆臂反向旋转。
本实用新型可搬运晶圆盒的缓存设备在权利要求书中公布了：1.一种可搬运晶圆盒的缓存设备，用以向晶圆处理设备搬运晶圆盒，其特征在于，包括： 机台，设有用以放置晶圆盒的台面模组； 升降模组，所述升降模组设置于所述机台，所述升降模组包括升降板、以及用以驱动所述升降板升降的升降驱动组件； 第一摆动模组，所述第一摆动模组包括设于所述升降板的第一摆动驱动组件、以及摆臂，所述摆臂的底端与所述第一摆动驱动组件传动连接且能够在所述第一摆动驱动组件的带动下相对所述机台摆动； 第二摆动模组，设置于所述摆臂，所述第二摆动模组包括第二摆动驱动组件；以及 夹持机构，所述夹持机构转动设于所述摆臂的顶端，所述夹持机构包括夹持驱动组件、以及由所述夹持驱动组件驱动开合的夹爪，所述夹持机构能够在所述第二摆动驱动组件的驱动下相对于所述摆臂反向旋转。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人弥费科技(上海)股份有限公司，其通讯地址为：201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区飞渡路588号1幢A区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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