浙江大族富创得科技有限公司杨松获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江大族富创得科技有限公司申请的专利一种升降式晶圆检片组件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223693087U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422826373.6,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种升降式晶圆检片组件是由杨松;刘福诚;刘昌胜设计研发完成,并于2024-11-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种升降式晶圆检片组件在说明书摘要公布了:本实用新型涉及半导体技术领域,具体为一种升降式晶圆检片组件,包括引导晶圆盒的座缘部、承载座缘部的风箱侧板以及带动风箱侧板和座缘部的升降背板,升降背板连接升降驱动;风箱侧板内壁还设有晶圆盒状态传感器和晶圆突出传感器,座缘部内部设有抓盖机构;抓盖结构将晶圆盒盖锁定抓取,升降驱动带动升降背板运动,进而带动风箱侧板以及座缘部一同升降,晶圆盒状态传感器和晶圆突出传感器对晶圆进行状态检测;本实用新型,整体结构精简,将开盖动作与检测整合,缩小设备体积,整合多种工作状态场景,兼顾兼容存片、取片、开盖、关盖过程中的晶圆检测需求,减少晶圆在制造与运输过程中的风险,避免晶圆因弯折、突出造成后续更大的制造质量问题。
本实用新型一种升降式晶圆检片组件在权利要求书中公布了:1.一种升降式晶圆检片组件,其特征在于,包括引导晶圆盒的座缘部41、承载座缘部41的风箱侧板42以及带动风箱侧板42和座缘部41的升降背板43,所述升降背板43连接升降驱动;所述风箱侧板42内壁还设有晶圆盒状态传感器47和晶圆突出传感器48,所述座缘部41内部设有抓盖机构44; 开盖检片时,抓盖机构44将晶圆盒盖锁定抓取,升降驱动带动升降背板43运动,进而带动风箱侧板42以及座缘部41一同升降,在升降过程中,晶圆盒状态传感器47和晶圆突出传感器48对晶圆进行状态检测。
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