中山市新益昌自动化设备有限公司胡新荣获国家专利权
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龙图腾网获悉中山市新益昌自动化设备有限公司申请的专利固晶转塔装置及固晶设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223693085U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423323224.4,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型固晶转塔装置及固晶设备是由胡新荣;张燕设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本固晶转塔装置及固晶设备在说明书摘要公布了:本实用新型适用于半导体设备技术领域,提供了一种固晶转塔装置及固晶设备,上述固晶转塔装置包括旋转驱动机构、定位盘组、摆臂驱动单元以及摆臂机构。固晶设备包括上述任一项所述的固晶转塔装置。相比之前的单邦单臂单邦两臂结构增加了摆臂机构的数量,且多个第一安装面绕第一轴线均匀设置多个摆臂机构又分别滑动连接于第一安装面上,可以使每个摆臂机构每次转动的角度相同,使摆臂组件的控制更加方便,减少了单个摆臂机构运动角度,也减小了摆臂机构移动芯片时的震动。此外拥有连续旋转的多个独立工位,可以在工作时,通过多个摆臂机构连续吸取供晶位的芯片至安装基板,使固晶的效率效率得到有效的提升,固晶效率达到常规固晶设备的数倍。
本实用新型固晶转塔装置及固晶设备在权利要求书中公布了:1.一种固晶转塔装置,其特征在于,包括旋转驱动机构、定位盘组、摆臂驱动单元以及摆臂机构,所述定位盘组具有绕第一轴线转动的自由度,所述定位盘组上具有多个第一安装面,多个所述第一安装面绕所述第一轴线均匀分布,所述旋转驱动机构的驱动端与所述定位盘组相连,用于驱动所述定位盘组绕第一轴线转动,所述摆臂机构的数量为多个,多个所述摆臂机构分别滑动安装于所述第一安装面上,且用于吸取或放置芯片,所述摆臂驱动单元的数量为多个,且与所述摆臂机构一一对应设置,多个所述摆臂驱动单元均设置于所述定位盘组上,且用于驱动对应的所述摆臂机构沿所述第一轴线方向往复运动。
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