傲迪特半导体(南京)有限公司茆宏获国家专利权
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龙图腾网获悉傲迪特半导体(南京)有限公司申请的专利半导体清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223693080U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423254260.X，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型半导体清洗装置是由茆宏;宁江斌;郁言威;高兴;陆嘉黎;李民;王耽耽设计研发完成，并于2024-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了半导体清洗装置，包括清洗桶，所述清洗桶底部一侧安装有排污管，所述清洗桶底面中心安装有伺服电机，所述伺服电机输出轴末端固定安装有安装框，所述安装框内侧底面开设有底定位槽，所述安装框外侧底面旋转安装有支撑轮，所述安装框侧壁开设有轨道窗，所述轨道窗内安装有锁定螺栓，所述锁定螺栓一端安装有锁定螺母，所述锁定螺栓另一端与锁定板侧面连接固定，所述锁定板设置在安装框内，所述锁定板顶面和底面开设有锁定槽。该半导体清洗装置，采用新型的结构设计，不仅能够对不同尺寸的晶圆进行稳定固定，而且定位机构能够稳定旋转，配合冲洗机构，实现对晶圆的全面清理，同时还能够进行浸泡清理，保证清理效果。
本实用新型半导体清洗装置在权利要求书中公布了：1.半导体清洗装置，包括清洗桶1，其特征在于：所述清洗桶1底部一侧安装有排污管2，所述清洗桶1底面中心安装有伺服电机3，所述伺服电机3输出轴末端固定安装有安装框4，所述安装框4内侧底面开设有底定位槽5，所述安装框4外侧底面旋转安装有支撑轮6，所述安装框4侧壁开设有轨道窗7，所述轨道窗7内安装有锁定螺栓8，所述锁定螺栓8一端安装有锁定螺母9，所述锁定螺栓8另一端与锁定板10侧面连接固定，所述锁定板10设置在安装框4内，所述锁定板10顶面和底面开设有锁定槽11，所述清洗桶1侧壁顶部安装有卡板12，所述卡板12位于清洗桶1外侧的末端螺纹安装有定位螺栓13，所述定位螺栓13末端与定位孔14连接，所述定位孔14开设在清洗桶1外壁顶部，所述卡板12位于清洗桶1内侧的表面固定安装有冲洗管15，所述冲洗管15上安装有喷头16。
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