合肥芯碁微电子装备股份有限公司于成信获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请的专利吸附组件及具有其的曝光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223692643U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520372061.4，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型吸附组件及具有其的曝光装置是由于成信设计研发完成，并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本吸附组件及具有其的曝光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种吸附组件及具有其的曝光装置，吸附组件包括承载部，承载部设有气孔，承载部上设有多个承载区，多个承载区包括第一承载区和第二承载区，第一承载区和第二承载区间隔设置，且在第一承载区和第二承载区之间设有气道，气道用于选择性连通第一承载区和第二承载区。通过在承载部上形成有多个承载区，在承载部进行承载吸附过程中适于通过选择性使用不同的承载区，以通过不同承载区的使用实现不同尺寸基板的吸附限制，从而让吸附组件在使用过程中能够根据不同基板而对应提供吸附效果。在第一承载区和第二承载区之间设有气道，以通过气道选择性连通第一承载区和第二承载区，以让承载部的吸附范围适于通过气道进行调整。
本实用新型吸附组件及具有其的曝光装置在权利要求书中公布了：1.一种吸附组件，其特征在于，包括： 承载部，所述承载部设有气孔，所述承载部通过所述气孔吸附基板，所述承载部上设有多个承载区，多个所述承载区包括第一承载区和第二承载区，所述第一承载区和所述第二承载区间隔设置，且在所述第一承载区和所述第二承载区之间设有气道，所述气道用于选择性连通所述第一承载区和所述第二承载区，以调整所述承载部的吸附范围。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥芯碁微电子装备股份有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区长宁大道789号1号楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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