江苏光启灵犀装备有限公司吴伟梁获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏光启灵犀装备有限公司申请的专利一种光伏链式光刻生产系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223692639U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422774151.4，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种光伏链式光刻生产系统是由吴伟梁;张漫江;雷凯设计研发完成，并于2024-11-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光伏链式光刻生产系统在说明书摘要公布了：本实用新型属于光刻技术领域，具体的说是一种光伏链式光刻生产系统，一链式辊涂模块，用于硅片光刻胶的涂覆；一激光打定位点模块，用于所述硅片定位点的形成；一曝光模块，用于所述硅片定位点的抓取；一显影模块，用于所述硅片的碱洗；一水洗系统，用于所述硅片表面的清洗；一去胶模块，用于所述硅片表面的去胶；一烘干模块，用于所述硅片表面的烘干；一计算机控制器，用于控制上述模块的运行，本实用新型相比于激光开膜，采用高功率激光的照射，将薄膜表面加热到高温，对钝化膜本身产生热损伤，而本实用新型利用光刻技术通过光刻胶显影和曝光实现掩膜，可实现无损图形化，对p+‑poly‑Si和n+‑poly‑Si钝化性能没有损伤。
本实用新型一种光伏链式光刻生产系统在权利要求书中公布了：1.一种光伏链式光刻生产系统，其特征在于：包括： 一链式辊涂模块，用于硅片光刻胶的涂覆； 一激光打定位点模块，用于所述硅片的定位点的形成； 一曝光模块，用于所述硅片的定位点的抓取； 一显影模块，用于所述硅片的碱洗； 一水洗系统，用于所述硅片表面的清洗； 一去胶模块，用于所述硅片表面的去胶； 一烘干模块，用于所述硅片表面的烘干； 一计算机控制器，用于控制上述模块的运行。
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