矽电半导体设备(深圳)股份有限公司林生财获国家专利权
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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利探针台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223692421U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520265133.5，技术领域涉及：G01R1/04；该实用新型探针台是由林生财;聂勇设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本探针台在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种探针台，涉及半导体测试技术领域，探针台包括传送装置、第一测试装置和第二测试装置。其中，传送装置中设有罩壳、机械手模块和用于从晶圆盒中取出或放回装有晶圆的晶圆座的料盒接驳模块；第一测试装置和第二测试装置均包括机柜和测试模块；记由料盒接驳模块指向机械手模块的方向为第一方向；则罩壳平行于第一方向的两侧分别安装有两台测试装置；机械手模块包括上料机械手和下料机械手，上料机械手用于将晶圆输送至第一测试模块或第二测试模块，下料机械手用于将晶圆由第一测试模块或第二测试模块中取出。通过这种设置，能够提高单位时间内晶圆的测试数量，从而不会影响晶圆的生产效率。
本实用新型探针台在权利要求书中公布了：1.一种探针台，其特征在于，包括： 传送装置，包括罩壳以及设置于所述罩壳内部的基架、料盒接驳模块和机械手模块，所述料盒接驳模块和所述机械手模块均安装于所述基架，所述料盒接驳模块用于从晶圆盒中取出或放回装有晶圆的晶圆座； 第一测试装置，包括第一机柜和设置于第一机柜内部的第一测试模块； 第二测试装置，包括第二机柜和设置于第二机柜内部的第二测试模块； 定义：由所述料盒接驳模块指向所述机械手模块的方向为第一方向； 所述罩壳平行于所述第一方向的两侧分别安装有所述第一测试装置和所述第二测试装置； 所述机械手模块包括上料机械手和下料机械手，所述上料机械手用于将所述晶圆输送至第一测试模块或第二测试模块，所述下料机械手用于将所述晶圆由所述第一测试模块或第二测试模块中取出。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人矽电半导体设备(深圳)股份有限公司，其通讯地址为：518000 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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