浙江东洋环境科技有限公司骆兴州获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江东洋环境科技有限公司申请的专利一种半导体工艺超纯水远程监测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223691914U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423009917.6,技术领域涉及:G01L11/00;该实用新型一种半导体工艺超纯水远程监测装置是由骆兴州;莫丽娟;周盼盼;周江;陆斌;王瑞晨设计研发完成,并于2024-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体工艺超纯水远程监测装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及管道压力检测装置附属装置的技术领域,特别是涉及一种半导体工艺超纯水远程监测装置,设置有三组压力传感器,通过比较三组压力传感器信号大小的变化始终取中间数值控制外供泵运行频率,使外供保持恒压运行,消除因传感器故障或信号干扰异常造成停机故障,从而增强实用性的一种半导体工艺超纯水远程监测装置;包括主管道,还包括第一管、两组第二三通接头、两组第二管和第三管,主管上设置有第一三通接头,主管上设置有三组压力传感器,主管上设置有两组第一两位三通电磁阀和第二两位三通电磁阀,主管上设置有第一电磁阀。
本实用新型一种半导体工艺超纯水远程监测装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体工艺超纯水远程监测装置,包括主管道1;其特征在于,还包括第一管7、两组第二三通接头9、两组第二管8和第三管10,主管上设置有第一三通接头2,主管上设置有三组压力传感器3,主管上设置有两组第一两位三通电磁阀4和第二两位三通电磁阀5,主管上设置有第一电磁阀6,所述第一三通接头2与第一管7连通,第一管7的右端与第二三通接头9连通,第一管7上设置有第二电磁阀19,两组第一两位三通电磁阀4的顶端分别与第二管8连通,两组第二管8顶端分别与第二三通接头9连通,两组第二三通接头9的内端均与第四管20连通,第二两位三通电磁阀5的顶端与第三管10连通,第三管10与右侧的第二三通接头9连通。
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