杰宜斯科技有限公司朴芝镐获国家专利权
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龙图腾网获悉杰宜斯科技有限公司申请的专利基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113035738B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011281096.5，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权基板处理装置是由朴芝镐;文雄助设计研发完成，并于2020-11-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理装置在说明书摘要公布了：本发明涉及基板处理装置，包括：旋转台，在旋转台的上表面供晶片放置；环状密封环，结合于旋转台的上部，沿内周面形成有多个挂接槽；多个开闭单元，被设置为以旋转台的垂直旋转中心为基准能够在径向方向上联动，在进行锁定动作时，挂接位于挂接槽，并且在进行解锁动作时，从挂接槽脱离，从而解除挂接；以及动力传递单元，设置在旋转台的设置空间中，通过外力使开闭单元向锁定位置或者解锁位置联动。
本发明授权基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种基板处理装置，其特征在于，包括： 旋转台，在所述旋转台的上表面供晶片放置； 环状的密封环，结合于所述旋转台的上部，沿所述密封环的内周面形成有多个挂接槽； 多个开闭单元，被设置为能够以所述旋转台的垂直旋转中心为基准在径向方向上联动，允许进行锁定动作；以及 动力传递单元，设置在所述旋转台的设置空间中，通过外力使所述开闭单元向锁定位置或者解锁位置联动， 所述开闭单元具备： 旋转轴，以所述旋转台的垂直旋转中心为基准在径向上配置，并且所述旋转轴的下端以能够水平旋转的方式贯通结合于所述旋转台；以及 杆，以能够水平转动的方式结合于所述旋转轴的上端，在向锁定位置转动时，所述杆的向一侧偏心的一端挂接位于所述挂接槽，在向解锁位置转动时，所述杆的向一侧偏心的一端从所述挂接槽脱离，从而解除挂接， 所述动力传递单元具备： 旋转板，能够以垂直旋转中心为基准向锁定方向或者解锁方向转动，在径向上，上下贯通形成有多个导向孔；以及 连接杆，所述连接杆的长度方向侧的一端沿所述导向孔以能够滑动的方式进行结合。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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