赛奥科思有限公司;住友化学株式会社藤仓序章获国家专利权
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龙图腾网获悉赛奥科思有限公司;住友化学株式会社申请的专利III族氮化物层叠基板和半导体元件获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112838148B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-19发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011302621.7,技术领域涉及:H10H20/812;该发明授权III族氮化物层叠基板和半导体元件是由藤仓序章;今野泰一郎;木村健司设计研发完成,并于2020-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本III族氮化物层叠基板和半导体元件在说明书摘要公布了:本发明涉及III族氮化物层叠基板和半导体元件。提供能够提高形成在基底基板上的GaN层的品质的技术。一种III族氮化物层叠基板,其具有:基底基板;第一层,其形成在基底基板上且由氮化铝构成;以及第二层,其形成在第一层上且由氮化镓构成,第二层的厚度为10μm以下,基于X射线摇摆曲线测定的0002衍射的半值宽度为100秒以下,基于X射线摇摆曲线测定的10‑12衍射的半值宽度为200秒以下。
本发明授权III族氮化物层叠基板和半导体元件在权利要求书中公布了:1.一种III族氮化物层叠基板,其具有: 基底基板; 第一层,其形成在所述基底基板上且由氮化铝组成;以及 第二层,其形成在所述第一层上且由氮化镓构成, 所述第二层的厚度为10μm以下,基于X射线摇摆曲线测定的0002衍射的半值宽度为100秒以下,基于X射线摇摆曲线测定的10-12衍射的半值宽度为200秒以下, 所述第一层的表面为Al极性,所述表面与第二层接触, 所述第一层的厚度为0.1μm以上, 所述第一层的0002面的X射线摇摆曲线的半值宽度为100秒以下,10-12面的X射线摇摆曲线的半值宽度为300秒以下。
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