中环领先半导体科技股份有限公司蒋杰获国家专利权
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龙图腾网获悉中环领先半导体科技股份有限公司申请的专利一种旋转机构及半导体外延设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223680094U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520272988.0,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种旋转机构及半导体外延设备是由蒋杰;龚赛;陆波;沈宇晨;王超;杨振域;杜金生;郝小辉设计研发完成,并于2025-02-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转机构及半导体外延设备在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种旋转机构及半导体外延设备,涉及半导体生产设备技术领域,以解决现有技术中转轴会因惯性而逐渐移动,最终偏离原点位置太多,导致生产过程中升降销无法升起、晶圆难以取出,大大降低了生产效率的技术问题,该旋转机构包括转轴主体和支撑座,转轴主体的第一端设置第一定位结构;支撑座设置用于容置第一端的容纳腔,容纳腔的内壁设置用于与第一定位结构配合的第二定位结构,容纳腔的底部设置止挡结构。该半导体外延设备包括上述的旋转机构。本实用新型的有益效果是有效地避免转轴主体因惯性偏移原点位置过大的问题,使旋转机构正常工作,外延设备正常生产,在一定程度上提高了生产效率。
本实用新型一种旋转机构及半导体外延设备在权利要求书中公布了:1.一种旋转机构,其特征在于,包括: 转轴主体,所述转轴主体的第一端设置第一定位结构; 支撑座,所述支撑座设置用于容置所述第一端的容纳腔,所述容纳腔的内壁设置用于与所述第一定位结构配合的第二定位结构,所述容纳腔的底部设置止挡结构。
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