东莞市晟鼎精密仪器有限公司莫国健获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市晟鼎精密仪器有限公司申请的专利一种多片晶圆顶升机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223680089U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422661387.7，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种多片晶圆顶升机构是由莫国健;黄嘉伦;侯振健设计研发完成，并于2024-11-01向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多片晶圆顶升机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种多片晶圆顶升机构，包括顶针组件A、顶针组件B、顶针组件C、顶针安装板、顶针升降模组、感应器和连接杆，所述顶针安装板安装于顶针升降模组的移动端上，所述顶针组件A、顶针组件B、顶针组件C均固定安装于顶针安装板上，所述顶针组件A、顶针组件B、顶针组件C呈台阶型设置，所述感应器安装于顶针安装板的一侧，通过采用多片晶圆顶升设计，通过顶针升降模组配合，大大提高了设备的生产效率，且顶针采用耐高温非金属材质，保证不污染晶圆的同时确保顶升正常工作，同时不会对晶圆产生损伤或者其他影响，确保晶圆热处理制程的工艺稳定性。
本实用新型一种多片晶圆顶升机构在权利要求书中公布了：1.一种多片晶圆顶升机构，包括顶针组件A1、顶针组件B2、顶针组件C3、顶针安装板4、顶针升降模组5、感应器6和连接杆7，其特征在于：所述顶针安装板4安装于顶针升降模组5的移动端上，所述顶针组件A1、顶针组件B2、顶针组件C3均固定安装于顶针安装板4上，所述顶针组件A1、顶针组件B2、顶针组件C3呈台阶型设置，所述感应器6安装于顶针安装板4的一侧。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人东莞市晟鼎精密仪器有限公司，其通讯地址为：523000 广东省东莞市长安镇新安横中路33号1栋101室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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