广州恒岩科技有限公司王永吉获国家专利权
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龙图腾网获悉广州恒岩科技有限公司申请的专利一种载物机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223680086U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520223161.0,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种载物机构是由王永吉;谭星兰设计研发完成,并于2025-02-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种载物机构在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种载物机构,包括底座,所述底座的顶部固定连接有对接箱,所述对接箱的一侧开设有对接槽,所述对接槽的内顶壁设有移动平台本体,所述移动平台本体的底部固定连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的底部固定连接有载物台。通过将晶圆的二分之一部位放入载物槽的内部,启动真空泵,真空泵会对吸气管抽取吸气,进而真空槽的吸气会被抽气,由于真空槽的内壁开设有吸附口,进而载物槽内部的空气会通过吸附口进入真空槽,进而使得载物槽内有一个吸附的作用力,进而当将晶圆的一部分放入载物槽的内部时,其吸附作用力会对晶圆进行吸附,进而使得晶圆定位在载物槽的内部,实现该装置对晶圆的定位过程不需要对晶圆的外壁加设工件。
本实用新型一种载物机构在权利要求书中公布了:1.一种载物机构,包括底座18,其特征在于:所述底座18的顶部固定连接有对接箱1,所述对接箱1的一侧开设有对接槽5,所述对接槽5的内顶壁设有移动平台本体2,所述移动平台本体2的底部固定连接有电动伸缩杆3,所述电动伸缩杆3的底部固定连接有载物台4,所述载物台4的底部开设有载物槽8,所述载物台4的顶部固定连接有真空泵19; 所述真空泵19的外壁设有进气口,且进气口固定连接有吸气管7,所述载物台4的一侧开设有真空槽10,所述真空槽10的内顶壁开设有吸附口9,所述真空槽10的内壁开设有调节口11,所述调节口11的内壁设置有转向部件。
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