宁波芯丰精密科技有限公司万先进获国家专利权
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龙图腾网获悉宁波芯丰精密科技有限公司申请的专利一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223680085U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423216086.X，技术领域涉及：H01L21/683；该实用新型一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备是由万先进;李帆;谢烨超;尤国振;锁志勇;秦宝宏;边逸军设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体加工技术领域，公开了一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备。该晶圆气浮转台的调节机构包括减速器、调节轴、连接杆和壳体，减速器与外部结构固定连接，调节轴与减速器的输入端连接，连接杆的一端与减速器的输出端连接，另一端用于与气浮转台连接。壳体与减速器固定连接且位于减速器的输入端，调节轴安装于壳体且一端伸出壳体，壳体远离减速器的端面上设置有多个分度标记，多个分度标记沿壳体周向均匀分布，调节轴上设置有基准标记，指向所述分度标记以显示调节行程。本实用新型的晶圆气浮转台的调节机构放大了调整行程，从而能达到精准的调节量。该晶圆加工设备降低了设备开发和调试的难度。
本实用新型一种晶圆气浮转台的调节机构和晶圆加工设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆气浮转台的调节机构，其特征在于，包括： 减速器1，与外部结构固定连接； 调节轴2，与所述减速器1的输入端连接； 连接杆3，一端与所述减速器1的输出端连接，另一端用于与所述气浮转台连接； 壳体5，所述壳体5与所述减速器1固定连接且位于所述减速器1的输入端，所述调节轴2安装于所述壳体5，且一端伸出所述壳体5； 所述壳体5远离所述减速器1的端面上设置有多个分度标记，多个所述分度标记沿所述壳体5周向均匀分布；所述调节轴2上设置有基准标记，指向所述分度标记，从而显示调节行程。
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