苏州冠礼科技股份有限公司高自强获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州冠礼科技股份有限公司申请的专利一种自适应真空吸盘获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223680084U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422901853.4,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种自适应真空吸盘是由高自强;黄自柯;张雨;王哲哲;陈凯;肖攀设计研发完成,并于2024-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自适应真空吸盘在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种自适应真空吸盘,包括盘体、管座和连管,其中,盘体包括吸附面和第一气道,所述第一气道贯穿所述盘体,所述第一气道于所述盘体的外表面形成第一接口和第二接口,所述第一接口开设在所述吸附面处,所述第二接口开设在所述盘体背离所述吸附面处。该自适应真空吸盘,由于采用了连管的可形变设计,使得连管能够在吸盘与管座发生相对移动时调节自身形变,适应晶圆因垂直拉平产生的水平延伸或收缩,进而有效解决了因水平应变引发的应力集中问题,避免吸附失败或晶圆损伤,因此本申请中的自适应真空吸盘在复杂表面条件下的动态适应能力,显著提升了晶圆搬运过程中的吸附精度与可靠性,满足了工业生产对高精度吸附设备的需求。
本实用新型一种自适应真空吸盘在权利要求书中公布了:1.一种自适应真空吸盘,用于与工件的平面吸附,其特征在于,包括: 盘体,所述盘体包括吸附面和第一气道,所述第一气道贯穿所述盘体,所述第一气道于所述盘体的外表面形成第一接口和第二接口,所述第一接口开设在所述吸附面处,所述第二接口开设在所述盘体背离所述吸附面处; 管座,包括第二气道; 连管,所述连管的一端与所述盘体上的所述第二接口连接,所述连管的另一端与所述管座连接,使所述连管的内部与所述第二气道连通,并且,所述连管被配置为在所述盘体与所述管座发生相对移动时,所述连管与所述盘体连接的一端和所述连管与所述管座连接的一端发生相对移动。
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