素珀电子科技(上海)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆对准装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223680082U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423310421.2，技术领域涉及：H01L21/68；该实用新型一种晶圆对准装置是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆对准装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆对准装置包括：真空腔体，具有内腔和用于传送晶圆的传送口，所述传送口沿第一方向开设，所述真空腔体沿第二方向且相对的两侧壁上开设有检测窗口；托盘机构，水平设置在所述真空腔体的内腔，用于承载并驱动晶圆沿自身轴线方向旋转；检测件，包括发射端和接收端，所述发射端和所述接收端沿第二方向分别设置在所述真空腔体相对的两侧壁上，所述发射端和所述接收端用于检测晶圆是否对准；驱动件，与所述检测件连接，所述驱动件用于驱动的所述检测件沿第三方向同步移动；其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。通过上述方案，便于对不同尺寸的晶圆进行寻边检测。
本实用新型一种晶圆对准装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆对准装置，其特征在于，包括： 真空腔体1，具有内腔和用于传送晶圆的传送口11，所述传送口11沿第一方向开设，所述真空腔体1沿第二方向且相对的两侧壁上开设有检测窗口12； 托盘机构2，水平设置在所述真空腔体1的内腔，用于承载并驱动晶圆沿自身轴线方向旋转； 检测件3，包括发射端31和接收端32，所述发射端31和所述接收端32沿第二方向分别设置在所述真空腔体1相对的两侧壁上，所述发射端31发出的激光束经过所述检测窗口12被所述接收端32接收，且晶圆的边缘部与激光束相交； 驱动件4，与所述检测件3连接，所述驱动件4用于驱动的所述检测件3沿第三方向同步移动； 其中，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。
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