素珀电子科技(上海)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆盒操作台及晶圆装载系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223680081U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423305265.0,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型一种晶圆盒操作台及晶圆装载系统是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆盒操作台及晶圆装载系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆盒操作台和晶圆装载系统,包括:晶圆传送盒,底部开设有卡槽,所述晶圆传送盒在靠近所述卡槽的槽口内壁上设置有卡块;基板,所述基板上设置有用于放置所述晶圆传送盒的滑板,所述滑板上开设有开口,所述基板上设置有驱动件,所述驱动件用于驱动所述滑板沿所述基板的长度方向移动;固定组件,包括移动部和固定部,所述移动部安装在所述基板上,所述固定部安装在所述移动部上,所述移动部用于驱动所述固定部沿所述开口的长度方向移动。通过固定组件的设计,进而可适配多种尺寸的晶圆传送盒,同时也提高了对晶圆传送盒的固定效果。
本实用新型一种晶圆盒操作台及晶圆装载系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆盒操作台,对晶圆传送盒1进行装载,所述晶圆传送盒1底部开设有卡槽11,在靠近所述卡槽11的槽口内壁上设置有卡块12,其特征在于,所述晶圆操作台包括: 基板2,所述基板2上设置有滑板3,所述滑板3上开设有开口31,所述基板2上设置有驱动件5,所述驱动件5用于驱动所述滑板3沿所述基板2的长度方向移动; 固定组件4,包括移动部41和固定部42,所述移动部41安装在所述基板2上,所述固定部42安装在所述移动部41上,所述移动部41用于驱动所述固定部42沿所述开口31的长度方向移动,所述固定部42包括固定端; 其中,所述卡块12具有缓冲斜面121,所述固定端上设置有缓冲坡面422,所述晶圆传送盒1放置在所述滑板3上,所述卡槽11与所述开口31位置相对应,当所述固定部42驱动所述固定端沿所述基板2的厚度方向移动至所述固定端与所述卡块12在垂直方向投影部分重合或完全重合时,所述缓冲坡面422与所述缓冲斜面121抵接配合。
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