拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利搬运设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223680078U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423252852.8,技术领域涉及:H01L21/677;该实用新型搬运设备是由龙占勇;周亮;李燕清;王勤勤;张天庆;金文凯;林佳继设计研发完成,并于2024-12-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本搬运设备在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体工艺设备技术领域,公开了一种搬运设备。该搬运设备包括有晶片承载装置、机械手机构、横移机构和升降机构,晶片承载装置安装于机械手机构,横移机构能够沿水平方向移动机械手机构,升降机构能够沿竖直方向移动机械手机构,横移机构包括有第一丝杆、第一丝杆螺母和第一电机,机械手机构连接于第一丝杆螺母,第一丝杆螺母传动连接于第一丝杆,第一电机能够驱动第一丝杆转动以改变机械手机构的水平位置。相比于采用柔性皮带驱动机械手机构移动的方式,第一丝杆和第一丝杆螺母能够减少机械手机构在移动时的晃动,有效避免了传统柔性皮带直线模组因行程过长导致的皮带下垂与晃动问题,从而确保了晶片在搬运过程中的稳定性。
本实用新型搬运设备在权利要求书中公布了:1.搬运设备,其特征在于,包括晶片承载装置、机械手机构、横移机构和升降机构,所述晶片承载装置安装于所述机械手机构,所述机械手机构传动连接于所述横移机构和所述升降机构,所述横移机构能够沿水平方向移动所述机械手机构,所述升降机构能够沿竖直方向移动所述机械手机构和所述横移机构,其中: 所述横移机构包括有第一丝杆、第一丝杆螺母和第一电机,所述机械手机构连接于所述第一丝杆螺母,所述第一丝杆螺母与所述第一丝杆传动连接,所述第一电机与所述第一丝杆传动连接,所述第一电机驱动所述第一丝杆转动,以沿所述第一丝杆的长度方向改变所述机械手机构的水平位置。
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