泉芯半导体科技(无锡)有限公司欧阳小泉获国家专利权
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龙图腾网获悉泉芯半导体科技(无锡)有限公司申请的专利一种晶圆导片驱动机构及晶圆导片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223680073U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422709950.3，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型一种晶圆导片驱动机构及晶圆导片装置是由欧阳小泉设计研发完成，并于2024-11-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆导片驱动机构及晶圆导片装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种晶圆导片驱动机构及晶圆导片装置，该晶圆导片驱动机构包括基座、驱动件、传动组件、第一夹手和第二夹手，驱动件的固定端安装在基座上，驱动件的驱动端连接传动组件；第一夹手和第二夹手均安装在基座上，第一夹手和第二夹手均开设有用于承载晶圆一侧的导片槽；传动组件包括主动齿轮、第一从动齿轮、传动齿轮组和第二从动齿轮，主动齿轮安装在驱动件的驱动端，第一从动齿轮与主动齿轮相啮合，传动齿轮组的输入端与第一从动齿轮相啮合，第二从动齿轮与传动齿轮组的输出端相啮合且安装在第二夹手上。上述晶圆导片驱动机构通过驱动件和传动组件配合以驱动第一夹手和第二夹手同步反向旋转，具有占用空间小和传动精度高的效果。
本实用新型一种晶圆导片驱动机构及晶圆导片装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆导片驱动机构，其特征在于，所述晶圆导片驱动机构包括基座、驱动件、传动组件、第一夹手和第二夹手，其中： 所述驱动件的固定端安装在所述基座上，所述驱动件的驱动端连接所述传动组件； 所述第一夹手和所述第二夹手均可转动地间隔安装在所述基座上，所述第一夹手和所述第二夹手均开设有用于承载晶圆一侧的若干个导片槽，所述驱动件被配置为通过所述传动组件驱动所述第一夹手和所述第二夹手同步反向旋转； 所述传动组件包括主动齿轮、第一从动齿轮、传动齿轮组和第二从动齿轮，所述主动齿轮安装在所述驱动件的驱动端，所述第一从动齿轮与所述主动齿轮相啮合且安装在所述第一夹手上，所述传动齿轮组的输入端与所述第一从动齿轮相啮合，所述第二从动齿轮与所述传动齿轮组的输出端相啮合且安装在所述第二夹手上。
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