昆山英博尔电子科技有限公司秦东魁获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山英博尔电子科技有限公司申请的专利一种清洗载具获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223680072U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423208215.0,技术领域涉及:H01L21/673;该实用新型一种清洗载具是由秦东魁;廖鸿峰设计研发完成,并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗载具在说明书摘要公布了:本实用新型提出一种清洗载具,包括基板,所述基板的顶面设置十字型隔件,通过十字型隔件的设置,将基板的表面分为四个安装区,所述基板的表面开设有若干漏孔,所述基板的四个安装区上各设置有一个夹持板体,夹持板体通过螺丝活动连接于基板的表面,左、右夹持板体作为一对,并且左、右夹持板体的内侧面相对设置,所述夹持板体的内侧面下部向外延伸设置台阶搁置部;所述基板的其中两个外侧边中间向外设置提架。本实用新型的清洗载具结构简单、设计合理,能同时实现对两片晶圆的清洗工作,并通过左右两个夹持板体对晶圆两侧边缘的切口形成稳定的夹持作用,确保在超声波清洗过程中晶圆的平稳性,进而达到清洁效率好及防止晶圆被磕碰或损坏的目的。
本实用新型一种清洗载具在权利要求书中公布了:1.一种清洗载具,其特征在于,包括基板,所述基板的顶面设置十字型隔件,通过十字型隔件的设置,将基板的表面分为四个安装区,所述基板的表面开设有若干漏孔,所述基板的四个安装区上各设置有一个夹持板体,夹持板体通过螺丝活动连接于基板的表面,左、右夹持板体作为一对,并且左、右夹持板体的内侧面相对设置,所述夹持板体的内侧面下部向外延伸设置台阶搁置部;所述基板的其中两个外侧边中间向外设置提架。
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