立川(无锡)半导体设备有限公司林邦羽获国家专利权
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龙图腾网获悉立川(无锡)半导体设备有限公司申请的专利一种OCR扫码与边缘检测自动调整机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223680066U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423182626.7,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型一种OCR扫码与边缘检测自动调整机构是由林邦羽;沈阳;翁鑫晶设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种OCR扫码与边缘检测自动调整机构在说明书摘要公布了:本实用新型涉及一种OCR扫码与边缘检测自动调整机构,属于晶圆加工技术领域,该机构包括基座,基座外侧设有OCR晶圆读码器、激光传感器、晶圆、晶圆吸附转盘、尺寸调整气缸、负压接口、旋转伺服电机、同步带轮传动机构、带轮张紧组件、第一限位机构、第二限位机构,基座用于安装连接各部件,OCR晶圆读码器在基座顶部,激光传感器在其侧面,晶圆置于吸附转盘上,同步带轮传动机构由两个带轮和皮带组成,此机构通过气缸与伺服机构、传感器、读码器配合,可对8寸、12寸等不同尺寸晶圆进行OCR扫码和边缘检测,提高了OCR扫码和边缘检测的适用性,解决了现有技术中OCR扫码和边缘检测机构分开且位置固定、无法用于不同尺寸晶圆的问题。
本实用新型一种OCR扫码与边缘检测自动调整机构在权利要求书中公布了:1.一种OCR扫码与边缘检测自动调整机构,包括基座1,其特征在于:所述基座1的外侧设置有OCR晶圆读码器2、激光传感器3、晶圆4、晶圆吸附转盘5、尺寸调整气缸6、负压接口7、旋转伺服电机8、同步带轮传动机构9、带轮张紧组件10、第一限位机构11、第二限位机构12,所述基座1用于安装连接各个部件。
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