华海清科(上海)半导体有限公司曹自立获国家专利权
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龙图腾网获悉华海清科(上海)半导体有限公司申请的专利晶圆竖直清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223680065U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423152370.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型晶圆竖直清洗装置是由曹自立;李灯;李长坤设计研发完成，并于2024-12-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆竖直清洗装置在说明书摘要公布了：本申请实施例提供了一种晶圆竖直清洗装置，包括：箱体，箱体内具有加工腔室，箱体的底板设有排水口；排水网，排水网设置至排水口处；卡盘，卡盘设置至加工腔室，以竖向夹持晶圆，卡盘所在的平面与竖直面平行；防溅液装置，位于排水口上方并覆盖排水口，防溅液装置包括两个固定块，可拆卸地设置在箱体内，以及至少一个导向板，设置在两个固定块之间，晶圆夹持位在竖直面的投影位于导向板在竖直面的投影区域内，导向板所处的平面与竖直面之间具有第一夹角，以接住并引导晶圆滴落的液滴至排水口；箱体侧壁正对防溅液装置的位置设置有维护门，用于维护防溅液装置。本申请实施例提供一种晶圆竖直清洗装置，能够有效的避免晶圆的表面残存液体滴落后回粘晶圆的表面。
本实用新型晶圆竖直清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆竖直清洗装置，其特征在于，包括： 箱体，所述箱体内具有加工腔室，所述箱体的底板设有排水口； 排水网，所述排水网设置至所述排水口处； 卡盘，所述卡盘设置至所述加工腔室，以竖向夹持晶圆，所述卡盘所在的平面与竖直面平行； 防溅液装置，位于所述排水口上方并覆盖所述排水口，所述防溅液装置包括两个固定块，可拆卸地设置在所述箱体内，以及至少一个导向板，设置在两个所述固定块之间，晶圆夹持位在竖直面的投影位于所述导向板在竖直面的投影区域内，所述导向板所处的平面与竖直面之间具有第一夹角，以接住并引导晶圆滴落的液滴至所述排水口； 所述箱体侧壁正对所述防溅液装置的位置设置有维护门，用于维护所述防溅液装置。
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