江苏福旭科技制造有限公司严循成获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏福旭科技制造有限公司申请的专利一种单晶硅片的双面清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223680062U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422680453.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种单晶硅片的双面清洗装置是由严循成;王祥;何迎辉设计研发完成，并于2024-11-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种单晶硅片的双面清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种单晶硅片的双面清洗装置，其包括：清洗槽、翻板、挡杆和推板，所述翻板可翻转地设置在清洗槽中，所述清洗槽中水平设置有转轴，所述翻板尾端设置有套设在转轴上的连接套，所述翻板上设置有沿垂直转轴方向延伸的导向槽，所述推板从翻板下方沿导向槽延伸至翻板上方，所述翻板底部设置有沿导向槽长度方向延伸的伸缩驱动机构，所述伸缩驱动机构端部设置有与推板底部连接的滑座，所述挡杆设置在翻板上并位于导向槽两侧。本实用新型所述的单晶硅片的双面清洗装置，自动进行单晶硅片的翻转和双面清洗，提升了清洗效果和清洗效率。
本实用新型一种单晶硅片的双面清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种单晶硅片的双面清洗装置，其特征在于，包括：清洗槽、翻板、挡杆和推板，所述翻板可翻转地设置在清洗槽中，所述清洗槽中水平设置有转轴，所述翻板尾端设置有套设在转轴上的连接套，所述翻板上设置有沿垂直转轴方向延伸的导向槽，所述推板从翻板下方沿导向槽延伸至翻板上方，所述翻板底部设置有沿导向槽长度方向延伸的伸缩驱动机构，所述伸缩驱动机构端部设置有与推板底部连接的滑座，所述挡杆设置在翻板上并位于导向槽两侧。
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