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素珀电子科技(上海)有限公司朱玉东获国家专利权

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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种晶圆检测组件及晶圆装载系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223680061U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423305262.7,技术领域涉及:H01L21/66;该实用新型一种晶圆检测组件及晶圆装载系统是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

一种晶圆检测组件及晶圆装载系统在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆检测组件,包括:检测支架,具有至少两组安装部和一个连接部,每组安装部包括两个沿左右方向相对设置的安装槽,检测件,包括发射端和接收端,分别设置在其中一组安装部的两个安装槽中;过渡板,具有安装区域;平移件,设置在所述安装区域,以水平方式驱动所述检测支架向靠近或远离晶圆传送盒的方向移动,所述平移件包括电缸和推板,所述电缸的伸缩端与所述推板的一端固定连接,所述电缸安装在所述过渡板上,所述推板的另一端与所述连接部固定连接,所述电缸上沿所述伸缩端的移动方向上设置有滑轨,所述滑轨上滑动连接有滑板,所述推板与所述滑板固定连接。通过上述方案,提高晶圆检测的安全性,避免出现检测误差。

本实用新型一种晶圆检测组件及晶圆装载系统在权利要求书中公布了:1.一种晶圆检测组件,对晶圆传送盒内晶圆进行检测,其特征在于,包括: 检测支架1,具有至少两组安装部和一个连接部12,每组安装部包括两个沿左右方向相对设置的安装槽13, 检测件,包括发射端111和接收端,分别设置在其中一组安装部的两个安装槽13中; 过渡板23,具有至少一个安装区域; 平移件2,设置在所述安装区域,以水平方式驱动所述检测支架1向靠近或远离晶圆传送盒的方向移动,所述平移件2包括电缸21和推板22,所述电缸21的伸缩端与所述推板22的一端固定连接,所述电缸21安装在所述过渡板23上,所述推板22的另一端与所述连接部12固定连接,所述电缸21上沿所述伸缩端的移动方向上设置有滑轨24,所述滑轨24上滑动连接有滑板25,所述推板22与所述滑板25固定连接; 升降件3,具有升降端,所述升降端与所述过渡板23固定连接,所述升降件3用于驱动所述升降端沿高度方向移动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人素珀电子科技(上海)有限公司,其通讯地址为:201206 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区宁桥路615号1幢402室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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