深圳市矩阵多元科技有限公司夏慧获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市矩阵多元科技有限公司申请的专利等离子处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223680054U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422929720.8，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型等离子处理装置是由夏慧;邵寿潜;黄承语;李佳小龙;李永杰;龚文志;张亮;胡小波;张晓军设计研发完成，并于2024-11-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本等离子处理装置在说明书摘要公布了：本申请涉及一种等离子处理装置。该等离子处理装置包括腔体、相对设置于腔体内的第一布气板和第二布气板、相对设置于腔体内的接地电极板以及射频电极板。第一布气板与腔体的第一腔壁形成进气布气空间，第二布气板与腔体的第二腔壁形成出气布气空间；其中，第一布气板和第二布气板上分布有多个气孔。接地电极板和射频电极板处于第一布气板和第二布气板形成的合围区域内。通过在腔体两侧形成进气布气空间和出气布气空间，有助于气体的有效流通和均匀分布；第一布气板和第二布气板上设置的气孔，使气体在腔体内的流动更加平稳和均匀。由此提高了腔体内部的气压均匀性，进而使产生的等离子体的分布均匀性提高，因而能够提高基板处理效果的一致性。
本实用新型等离子处理装置在权利要求书中公布了：1.一种等离子处理装置，其特征在于，包括： 腔体； 相对设置于所述腔体内的第一布气板和第二布气板；所述第一布气板与所述腔体的第一腔壁形成进气布气空间，所述第二布气板与所述腔体的第二腔壁形成出气布气空间；其中，所述第一布气板和所述第二布气板上分布有多个气孔； 相对设置于所述腔体内的接地电极板以及射频电极板；所述接地电极板和所述射频电极板处于所述第一布气板和所述第二布气板形成的合围区域内。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人深圳市矩阵多元科技有限公司，其通讯地址为：518100 广东省深圳市龙华区民治街道上芬社区龙屋工业区6号厂房101一、二楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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