合肥伟进科技有限公司王磊获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥伟进科技有限公司申请的专利一种半导体涂胶显影制程模组获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223679524U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520146853.X，技术领域涉及：G03F7/16；该实用新型一种半导体涂胶显影制程模组是由王磊设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体涂胶显影制程模组在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体加工技术领域，公开了一种半导体涂胶显影制程模组，包括机架，所述机架的外部固定连接有导流机构，所述机架的顶部固定连接有涂胶显影机主体，所述导流机构包括两组安装支架，所述安装支架的外部固定连接在所述机架的外部，所述安装支架的内部设置有螺栓，所述螺栓靠近机架的一端固定连接有限位架，所述限位架的转动连接有多个导向轮。本实用新型中，该模组通过导向轮可避免半导体物品与限位架摩擦，防止其在输送中转动偏移，实现自动化校正及推送；红外传感器可在半导体物品移至龙门架下时触发气泵，喷头喷吹高压空气清除物品表面灰尘杂质，提高了生产质量和产品可靠性。
本实用新型一种半导体涂胶显影制程模组在权利要求书中公布了：1.一种半导体涂胶显影制程模组，包括机架1，其特征在于：所述机架1的外部固定连接有导流机构，所述机架1的顶部固定连接有涂胶显影机主体3； 所述导流机构包括两组安装支架18，所述安装支架18的外部固定连接在所述机架1的外部，所述安装支架18的内部设置有螺栓19，所述螺栓19靠近机架1的一端固定连接有限位架14，所述限位架14的转动连接有多个导向轮15，所述限位架14的靠近安装支架18的一侧固定连接有导向滑块16，所述导向滑块16的外部设置有导向滑轨17。
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