无锡中微掩模电子有限公司周成获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡中微掩模电子有限公司申请的专利一种掩模拆膜平台获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223679522U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423281519.X,技术领域涉及:G03F1/82;该实用新型一种掩模拆膜平台是由周成;顾梦星设计研发完成,并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种掩模拆膜平台在说明书摘要公布了:本实用新型属于电子产品光刻显影技术领域,尤其涉及一种掩模拆膜平台,包括底座,所述底座顶部安装有安装调节结构,所述安装调节结构底部安装有拆膜结构,所述底座顶部背面一端安装有按压结构,所述安装调节结构包括升降连接单元及安装支撑单元,所述升降连接单元包括升降杆,所述升降杆顶端安装有旋钮,所述升降杆底端安装有旋转块,所述旋转块外表面连接有限位套。该掩模拆膜平台,通过安装调节结构及拆膜结构的设置,旋转升降杆带动旋转块及限位套上升,从而带动升降板进行升降,由此带动滑块及拆膜棒、顶针上升,对掩模版进行拆膜,且拆膜结构放置于底座顶面左右两侧,不会对掩模版产生影响。
本实用新型一种掩模拆膜平台在权利要求书中公布了:1.一种掩模拆膜平台,包括底座1,其特征在于:所述底座1顶部安装有安装调节结构,所述安装调节结构底部安装有拆膜结构,所述底座1顶部背面一端安装有按压结构; 所述安装调节结构包括升降连接单元及安装支撑单元; 所述升降连接单元包括升降杆104,所述升降杆104顶端安装有旋钮105,所述升降杆104底端安装有旋转块106,所述旋转块106外表面连接有限位套107。
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