安徽通灵仿生科技有限公司李江获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽通灵仿生科技有限公司申请的专利一种多级结构的微型光纤压力传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223678694U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423214040.4，技术领域涉及：G01L11/02；该实用新型一种多级结构的微型光纤压力传感器是由李江;陈宏凯;汪卫;刘欢;戴明;荣钱;解启莲设计研发完成，并于2024-12-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种多级结构的微型光纤压力传感器在说明书摘要公布了：本实用新型是一种能够确保FP腔端反射膜的平整性，提高传感器性能和精度的多级结构的微型光纤压力传感器，基部为多层衬底键合构成，所述的FP腔和或光纤安装部为相对应衬底层上设置的通孔构成。由于通孔都是贯通的，避免因湿法腐蚀或离子刻蚀方法导致的表面不平整问题，从而提高FP腔底端面反射膜的平整性，对光的反射效果更好，提高传感器的测量精度。光纤端部不与FP腔直接接触，中间由高透光率衬底相隔，FP腔反射膜的高平整度，使得多模光纤在接收多束反射信号时能够优化不同光程差的误差，提高测试数据的准确性。同时通过键合的方式将三层衬底连接为一体，制备工艺简单，得到的基座的结构稳定、可靠。
本实用新型一种多级结构的微型光纤压力传感器在权利要求书中公布了：1.一种多级结构的微型光纤压力传感器，包括基部10和压力敏感膜片20； FP腔A，形成在所述基部10和压力敏感膜片20之间的封闭腔室； 光纤30，固定在基部10的光纤安装部B内，用于传导光信号； 其特征在于：所述的基部10为多层衬底键合构成，所述的FP腔A和光纤安装部B为相对应衬底层上设置的通孔构成； 所述的基部10包括自压力敏感膜片20由近向远依次布置的第一衬底11、第二衬底12和第三衬底13，所述的第一衬底11上设置有第一通孔111，第一通孔111与第二衬底12表面、压力敏感膜片20共同围合成FP腔A，FP腔A中第二衬底12的表面设置有腔端反射膜14，压力敏感膜片20包括敏感层衬底21，位于FP腔A中的敏感层衬底21表面设置有敏感层反射膜22，敏感层反射膜22与腔端反射膜14平行、相对、间隔布置。
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