浙江福莱新材料股份有限公司陈书厅获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江福莱新材料股份有限公司申请的专利压力传感薄膜器件获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223678669U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422755161.3,技术领域涉及:G01L1/16;该实用新型压力传感薄膜器件是由陈书厅;李耀邦;夏建峰;张丽娟;杨晓明;王奔设计研发完成,并于2024-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。
本压力传感薄膜器件在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种压力传感薄膜器件,包括:基材层、位于基材层同一表面的第一金属薄膜层、第二金属薄膜层,第一金属薄膜层、第二金属薄膜层之间设置有一位于基材层表面的镂空区,位于第一金属薄膜层、镂空区和第二金属薄膜层上方分为感应区和非感应区,所述镂空区进一步包括:间隔平行设置的若干个镂空竖条、第一镂空条、第二镂空条,所述若干个镂空竖条中相邻镂空竖条各自首尾均通过一镂空横条连接,所述若干个镂空竖条和镂空横条位于感应区内,所述第一金属薄膜层、第二金属薄膜层在非感应区且位于镂空区一侧之间通过第一镂空条隔离。本实用新型压力传感薄膜器件改善了感应区内感应的均匀性,也提高了压力传感薄膜器件的检测精度和灵敏度。
本实用新型压力传感薄膜器件在权利要求书中公布了:1.一种压力传感薄膜器件,其特征在于:包括:基材层1、位于基材层1同一表面的第一金属薄膜层21、第二金属薄膜层22,所述第一金属薄膜层21、第二金属薄膜层22之间设置有一位于基材层1表面的镂空区3,位于第一金属薄膜层21、镂空区3和第二金属薄膜层22上方分为感应区41和非感应区42,所述镂空区3进一步包括:间隔平行设置的若干个镂空竖条31、第一镂空条32、第二镂空条33,所述若干个镂空竖条31中相邻镂空竖条31各自首尾均通过一镂空横条34连接,所述若干个镂空竖条31和镂空横条34位于感应区41内,所述第一金属薄膜层21、第二金属薄膜层22在非感应区42且位于镂空区3一侧之间通过第一镂空条32隔离,所述第一金属薄膜层21、第二金属薄膜层22在非感应区42且位于镂空区3另一侧之间通过第二镂空条33隔离,一压电感应层5覆盖于所述感应区41上。
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