光驰半导体技术(上海)有限公司周皓天获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰半导体技术(上海)有限公司申请的专利一种真空处理设备用可调节腔体测温装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223678648U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520096286.1，技术领域涉及：G01K1/14；该实用新型一种真空处理设备用可调节腔体测温装置是由周皓天;魏兴卿;杨启忠;魏晓庆设计研发完成，并于2025-01-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空处理设备用可调节腔体测温装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体真空镀膜技术领域，尤其涉及一种真空处理设备用可调节腔体测温装置，包括底座、安装在底座上的支架和安装在支架上的测温传感器，支架与底座之间具有第一旋转轴线，支架绕第一旋转轴线在底座上转动；测温传感器获取待测温区域温度数据，测温传感器与所述支架之间具有第二旋转轴线，测温传感器绕第二旋转轴线在支架上转动；第一旋转轴线与第二旋转轴线呈夹角设置，使得测温传感器具有两个方向的转动，扩大了测温区域，解决以往单个测温传感器测温区域固定不变的问题。
本实用新型一种真空处理设备用可调节腔体测温装置在权利要求书中公布了：1.一种真空处理设备用可调节腔体测温装置，其特征在于，包括： 底座1； 支架2，安装在所述底座1上，所述支架2与所述底座1之间具有第一旋转轴线41，所述支架2绕所述第一旋转轴线41在所述底座1上转动； 测温传感器3，获取待测温区域温度数据，安装于所述支架2上，所述测温传感器3与所述支架2之间具有第二旋转轴线61，所述测温传感器3绕所述第二旋转轴线61在所述支架2上转动； 所述第一旋转轴线41与所述第二旋转轴线61夹角设置。
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