青岛精诚华旗微电子设备有限公司刘洋获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛精诚华旗微电子设备有限公司申请的专利一种水冷却炉门结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223678239U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423296110.5，技术领域涉及：F27D1/18；该实用新型一种水冷却炉门结构是由刘洋;寻童;王浩设计研发完成，并于2024-12-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种水冷却炉门结构在说明书摘要公布了：本实用新型属于半导体工艺技术领域，具体为一种水冷却炉门结构，包括炉门本体，所述炉门本体盖罩在石英反应腔的开口端，所述石英反应腔的端部侧壁套设有水冷支撑法兰，所述水冷支撑法兰与水冷密封法兰固定连接，所述水冷密封法兰远离水冷支撑法兰的一侧与炉门本体紧密抵触，所述炉门本体靠近石英反应腔一侧的水冷腔，所述炉门与水冷密封法兰接触处设有炉门密封圈本实用新型中通过设置水冷密封法兰，增加了石英反应腔和炉门本体连接的密封性，且减小了高温对炉门密封圈的影响，炉门本体上设有水冷腔，在水冷腔中填充冷却水，保证了炉门密封圈不会因高温出现老化损坏，大大提高了设备的可靠性，降低了设备维护成本，保证了产品的合格率和性能指标。
本实用新型一种水冷却炉门结构在权利要求书中公布了：1.一种水冷却炉门结构，包括炉门本体5，其特征在于，所述炉门本体5盖罩在石英反应腔1的开口端，所述石英反应腔1的端部侧壁套设有水冷支撑法兰2，所述水冷支撑法兰2与水冷密封法兰3固定连接，所述水冷密封法兰3远离水冷支撑法兰2的一侧与炉门本体紧密抵触，所述炉门本体5靠近石英反应腔1一侧的水冷腔，所述炉门与水冷密封法兰3接触处设有炉门密封圈6。
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