青岛华旗科技有限公司姜洪斌获国家专利权
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龙图腾网获悉青岛华旗科技有限公司申请的专利一种立式炉结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223678204U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423304284.1,技术领域涉及:F27B1/10;该实用新型一种立式炉结构是由姜洪斌;陈学超设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式炉结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种立式炉结构,包括机柜,所述机柜的内部设置有进料翻转台,且进料翻转台位于机柜前端中间位置,所述进料翻转台的顶部固定安装有第一进料口,所述进料翻转台靠近第一进料口的顶部固定安装有第二进料口,所述机柜前端的上半部分固定安装有前储藏区,所述前储藏区的内部用于储存六寸晶圆片盒。本实用新型通过设置上述结构,新型六寸八寸兼容的立式炉结构设计合理,可以既进行六寸硅片加工,又可以进行八寸硅片加工,不需要进行内部结构的调整,硅片加工时根据硅片尺寸进入不同的操作系统即可,大大方便用户使用,大大降低了用户的生产成本。
本实用新型一种立式炉结构在权利要求书中公布了:1.一种立式炉结构,包括机柜1,其特征在于:所述机柜1的内部设置有进料翻转台2,且进料翻转台2位于机柜1前端中间位置,所述进料翻转台2的顶部固定安装有第一进料口3,所述进料翻转台2靠近第一进料口3的顶部固定安装有第二进料口4,所述机柜1前端的上半部分固定安装有前储藏区6,所述前储藏区6的内部用于储存六寸晶圆片盒; 所述机柜1后端的上半部分固定安装有后储藏区7,所述后储藏区7的内部用于储存八寸晶圆片盒,所述机柜1后端的下半部分固定安装有第一中转区8和第二中转区9,所述机柜1中间部分安装有片盒传递机械手5。
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