龙门实验室李晓川获国家专利权
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龙图腾网获悉龙门实验室申请的专利一种硅片离心甩干机的片盒固定装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223678203U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202522373007.4,技术领域涉及:F26B25/18;该实用新型一种硅片离心甩干机的片盒固定装置是由李晓川;任永鹏;李亚如;李浩杰;刘梦杰设计研发完成,并于2025-11-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种硅片离心甩干机的片盒固定装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及硅片清洗设备领域,具体的说是一种硅片离心甩干机的片盒固定装置。一种硅片离心甩干机的片盒固定装置包括安装在甩干机主体腔室内的两个固定座,两个固定座之间设有用于安装片盒的安装槽,安装槽侧壁上设有铰接轴,两个固定座上与安装槽的铰接轴对应位置均设有铰接孔,固定座与安装槽通过铰接轴和铰接孔配合实现铰接,两个固定座之间远离主体腔室中心的位置设有挡杆,挡杆两端与固定座固定连接,挡杆用于限制安装槽的转动角度,以及在甩干机运行过程中对安装槽形成支撑。本实用新型旨在改善装卸片盒效率低、硅片或片盒易发生磕碰损伤,以及现有固定装置长期使用易产生裂缝的问题。
本实用新型一种硅片离心甩干机的片盒固定装置在权利要求书中公布了:1.一种硅片离心甩干机的片盒固定装置,其特征在于:包括安装在甩干机主体腔室内的两个固定座1,两个固定座1之间设有用于安装片盒的安装槽2,安装槽2侧壁上设有铰接轴5,两个固定座1上与安装槽2的铰接轴5对应位置均设有铰接孔6,固定座1与安装槽2通过铰接轴5和铰接孔6配合实现铰接,两个固定座1之间远离主体腔室中心的位置设有挡杆8,挡杆8两端与固定座1固定连接,挡杆8用于限制安装槽2的转动角度,以及在甩干机运行过程中对安装槽2形成支撑。
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