无锡卓海科技股份有限公司魏坤获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡卓海科技股份有限公司申请的专利一种台阶仪载台调平装置及台阶仪获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223677455U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520446660.6,技术领域涉及:F16M11/12;该实用新型一种台阶仪载台调平装置及台阶仪是由魏坤;相宇阳;俞胜武设计研发完成,并于2025-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种台阶仪载台调平装置及台阶仪在说明书摘要公布了:本实用新型属于半导体量测技术领域,公开了一种台阶仪载台调平装置及台阶仪,调平装置包括移动台、调节台、俯仰调节结构及偏摆调节结构。移动台沿第一水平方向可移动地设置于工作平台上,调节台设置于移动台上,调节台上凸设有第一球头销,载台上开设有锥形孔,第一球头销的球头端抵接于锥形孔内,载台绕第一球头销可转动地设置于调节台上。沿第一水平方向滑动滑块,驱使第二球头销带动载台绕第一球头销转动,使载台实现沿第一水平方向的俯仰角度调节;沿竖直方向移动第三球头销,可带动载台绕第一球头销转动,使载台实现沿第二水平方向的偏摆角度调节。结合载台上的水平仪,可对载台进行调平,兼顾了调平的精度和效率。
本实用新型一种台阶仪载台调平装置及台阶仪在权利要求书中公布了:1.一种台阶仪载台调平装置,其特征在于,包括: 移动台1、以及安装在所述移动台1上的调节台2、俯仰调节结构3和偏摆调节结构4; 其中,所述调节台2与载台100中的一者上凸设有第一球头销20,另一者上开设有锥形孔101,所述第一球头销20的球头端抵接于所述锥形孔101内,所述载台100绕所述第一球头销20可转动地设置于所述调节台2上; 所述俯仰调节结构3与所述第一球头销20沿第一水平方向间隔设置,包括滑块31及第二球头销32,所述滑块31沿第一水平方向可滑动地设置于所述调节台2上,所述滑块31面向所述载台100的一侧设置有导向斜面310,所述第二球头销32的球头端抵接于所述导向斜面310上,另一端卡设于所述载台100上;推动所述滑块31,带动所述第二球头销32沿所述导向斜面310移动,进而带动所述载台100绕所述第一球头销20转动,实现所述载台100沿第一水平方向的俯仰角度调节; 所述偏摆调节结构4与所述第一球头销20沿第二水平方向间隔设置,包括第三球头销41,所述第三球头销41沿竖直方向位置可调地设置于所述调节台2上,所述载台100面向所述调节台2的一侧开设有腰型锥孔102,所述第三球头销41的球头端抵接于所述腰型锥孔102内; 所述第一水平方向垂直于所述第二水平方向。
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