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杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院)吴晓君获国家专利权

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龙图腾网获悉杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院)申请的专利人工智能增强的强场太赫兹谱学检测成像装置和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120721676B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511202866.5,技术领域涉及:G01N21/3586;该发明授权人工智能增强的强场太赫兹谱学检测成像装置和方法是由吴晓君;张铭暄设计研发完成,并于2025-08-27向国家知识产权局提交的专利申请。

人工智能增强的强场太赫兹谱学检测成像装置和方法在说明书摘要公布了:本发明涉及太赫兹波检测成像技术领域,具体涉及一种人工智能增强的强场太赫兹谱学检测成像装置和方法,包括:飞秒激光器、分束镜、斩波器、激光光斑扩束模块、自旋太赫兹发射器、透反射一体自动化扫描探测模块、太赫兹探测装置以及人工智能增强的测厚模块和人工智能增强的缺陷检测成像模块;飞秒激光器发射的激光由分束镜产生泵浦光和探测光,泵浦光依次经过激光光斑扩束模块、自旋太赫兹发射器、透反射一体自动化扫描探测模块进入太赫兹探测装置;探测光经过透反射一体自动化扫描探测模块进入太赫兹探测装置,太赫兹探测装置输出太赫兹脉冲形状,最终获取样品厚度或缺陷轮廓;本发明能够提高样品缺陷检测效率,降低成本。

本发明授权人工智能增强的强场太赫兹谱学检测成像装置和方法在权利要求书中公布了:1.一种人工智能增强的强场太赫兹谱学检测成像装置,其特征在于,包括: 飞秒激光器1、分束镜2、斩波器3、激光光斑扩束模块、自旋太赫兹发射器6、透反射一体自动化扫描探测模块、太赫兹探测装置以及人工智能增强的测厚模块和人工智能增强的缺陷检测成像模块; 飞秒激光器1发射的激光由分束镜2产生泵浦光和探测光,泵浦光依次经过斩波器3、激光光斑扩束模块、自旋太赫兹发射器6、透反射一体自动化扫描探测模块进入太赫兹探测装置;探测光经过透反射一体自动化扫描探测模块进入太赫兹探测装置,太赫兹探测装置输出太赫兹脉冲形状; 所述人工智能增强的测厚模块和人工智能增强的缺陷检测成像模块基于太赫兹脉冲形状进行处理,获取样品厚度或缺陷轮廓; 所述透反射一体自动化扫描探测模块包括放置台7、二维平移台、固定在二维平移台上的带孔金属板8、离轴抛物面镜9、高密度聚乙烯板10以及一维延迟线11,所述放置台7为透射式探测功能反射镜放置台或反射式探测功能待测样品放置台; 自旋太赫兹发射器6产生的太赫兹波依次经过放置台7、带孔金属板8、离轴抛物面镜9以及高密度聚乙烯板10完成对被测样品的透射或反射;所述探测光经过一维延迟线11进行延迟; 透射式探测将待检测样品置于光路中,太赫兹由发射器6正入射到样品上,并使用放置台7处的平面镜反射太赫兹至接收器,反射式探测使用样品直接反射太赫兹,太赫兹由发射器6出射后以15°入射进入放置台7处的样品,被样品或衬底以15°反射至接收器,两种探测方式都在光路中使用带孔金属板8二维移动实现单点扫描。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人杭州市北京航空航天大学国际创新研究院(北京航空航天大学国际创新学院),其通讯地址为:311115 浙江省杭州市余杭区瓶窑镇双红桥街166号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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