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龙图腾网获悉安徽越好电子装备有限公司申请的专利用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120719267B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511242374.9，技术领域涉及：C23C14/35；该发明授权用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备是由俞峰;郑曜;徐建柱;黄俊凯设计研发完成，并于2025-09-02向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请公开一种用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备。防着装置包括形成镀膜窗口的框架，所述框架为多段式结构，由多个连接段依次拼接而成，所述连接段包括直线段和转角段，所述转角段设置在相邻两直线段之间，该两直线段分别为第一直线段和第二直线段，所述第一直线段和所述第二直线段的延伸方向不同，所述转角段相对于所述第一直线段在框架宽度方向上位置可调，和或，所述转角段相对于所述第二直线段在框架宽度方向上位置可调。本申请可通过调整转角段的相对位置，以暴露工件架更多区域，使得工件角部能够被充分溅射，从而提升镀膜均匀性。

本发明授权用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置及磁控溅射镀膜设备在权利要求书中公布了：1.用于磁控溅射镀膜屏蔽工件架的防着装置，所述防着装置包括形成镀膜窗口的框架，所述框架为多段式结构，由多个连接段依次拼接而成，所述连接段包括直线段和转角段，所述转角段设置在相邻两直线段之间，该两直线段分别为第一直线段和第二直线段，所述第一直线段和所述第二直线段的延伸方向不同，其特征在于，所述转角段相对于所述第一直线段在框架宽度方向上位置可调，和或，所述转角段相对于所述第二直线段在框架宽度方向上位置可调； 所述转角段具有第一端面，所述直线段具有与所述第一端面相对的第二端面，所述第一端面和所述第二端面中的一者设置有凸出的插接部，另一者设置有适配所述插接部的插接槽； 所述插接槽的宽度尺寸大于所述插接部的宽度尺寸，以使所述转角段能够在框架宽度方向上发生位移； 所述防着装置包括支撑件，所述直线段与所述转角段安装于所述支撑件； 所述支撑件上设有紧固件，所述转角段上开设有与所述紧固件配合的腰型孔，通过调节所述紧固件在所述腰型孔中的位置实现所述转角段在框架宽度方向上的位置可调； 所述框架具有沿直线延伸的主体区以及布置在相邻两个主体区之间的转角区，所述镀膜窗口的边缘设置有防着面，所述防着面在靠近所述框架内侧边缘处具有由外向内逐渐向下倾斜的衔接部，所述衔接部在所述转角区的宽度小于所述衔接部在所述主体区的宽度，以在所述转角区暴露工件架更多区域。

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