海创智能装备(烟台)有限公司张文庆获国家专利权
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龙图腾网获悉海创智能装备(烟台)有限公司申请的专利一种大量程压力范围的热压键合系统及键合方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120709198B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510916031.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种大量程压力范围的热压键合系统及键合方法是由张文庆;杨云春;玄龙浩设计研发完成，并于2025-07-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种大量程压力范围的热压键合系统及键合方法在说明书摘要公布了：本发明属于晶圆键合技术领域，尤其涉及一种大量程压力范围的热压键合系统及键合方法。所述大量程压力范围的热压键合系统，包括键合装置，所述键合装置分别连接有加压系统、抽真空系统和破真空系统，所述键合装置包括上加热盘和下方的下加热盘，所述上加热盘和下加热盘内均嵌有石英加热管，所述加压系统包括电气比例阀，所述电气比例阀的输入端与气源相连接，所述电气比例阀设置为多个，每个所述电气比例阀的输出端对应连接有不同气液压力转换比的流体压力转换装置，所述流体压力转换装置连接有压力输出机构，所述压力输出机构的输出力范围为0‑150KN。本发明通过多系统协同创新，实现了晶圆键合工艺的高精度、高效率与高可靠性。
本发明授权一种大量程压力范围的热压键合系统及键合方法在权利要求书中公布了：1.一种大量程压力范围的热压键合系统，其特征在于，包括键合装置，所述键合装置分别连接有加压系统、抽真空系统和破真空系统，所述键合装置包括键合腔室120，所述键合腔室120内设有上加热盘300和下方的下加热盘400，所述上加热盘300和下加热盘400内均嵌有石英加热管500；所述加压系统包括电气比例阀，所述电气比例阀的输入端与气源相连接，所述电气比例阀设置为多个，每个所述电气比例阀的输出端对应连接有不同气液压力转换比的流体压力转换装置，所述流体压力转换装置连接有压力输出机构，所述压力输出机构的输出力范围为0-150KN。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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