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龙图腾网获悉上海芯源微企业发展有限公司申请的专利一种双流体喷嘴及基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120618725B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511148895.8，技术领域涉及：B05B7/04；该发明授权一种双流体喷嘴及基板处理设备是由孙晋洲;彭博;刘鹏;伍方玲;唐希良设计研发完成，并于2025-08-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种双流体喷嘴及基板处理设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种双流体喷嘴及基板处理设备，双流体喷嘴包括出液主体；第一缓冲件，设于第一延伸部；第一缓冲件上开设有多个流通通道；壳体，具有出液口，壳体套设于出液主体；壳体的内壁、出液主体的端部、第一缓冲件的端部和第一延伸部的侧壁围绕形成缓冲空间，缓冲空间用于聚集第二管路中的流体以减缓流速。一种基板处理设备，包括双流体喷嘴、承载部分和供应部分；承载部分用于承载晶圆；双流体喷嘴向晶圆喷出流体；供应部分包括供应装置、第一供应管路和第二供应管路，第一供应管路的一端与供应装置连通，另一端与第一管路连通；第二供应管路的一端与供应装置连通，另一端与第二管路连通。本发明能够加液滴形成速度同时减小对晶圆表面损伤。

本发明授权一种双流体喷嘴及基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种双流体喷嘴，其特征在于，包括出液主体100，所述出液主体100的端部具有第一延伸部110；所述出液主体100上开设有第一管路120和第二管路130，所述第一管路120贯穿所述出液主体100和所述第一延伸部110，所述第二管路130贯穿所述出液主体100； 第一缓冲件200，设于所述第一延伸部110的外壁；所述第一缓冲件200上开设有多个流通通道210； 壳体300，具有出液口310，所述壳体300套设于所述出液主体100，且所述壳体300内壁与所述第一缓冲件200的侧壁抵接；所述壳体300的内壁、所述出液主体100的端部、所述第一缓冲件200的端部和所述第一延伸部110的侧壁围绕形成缓冲空间140，所述缓冲空间140与所述第二管路130连通，所述缓冲空间140用于聚集所述第二管路130中的流体以减缓流速，所述缓冲空间140内的流体流经所述流通通道210后与所述第一管路120的液体混合，并经由所述出液口310排出； 所述第一缓冲件200的底部开设有汇聚环槽220，所述流通通道210与所述汇聚环槽220连通，以使多个所述流通通道210内的流体在所述汇聚环槽220内汇聚后通过所述出液口310排出； 所述第一缓冲件200的底部具有第一凸台230，所述第一凸台230具有第一平面231和第一斜面232，所述第一斜面232的两端分别延伸至所述第一平面231和所述第一缓冲件200的侧壁；所述第一平面231用于开设所述汇聚环槽220，所述第一斜面232抵接于所述壳体300的内壁； 所述流通通道210贯穿所述第一平面231和所述第一斜面232，以使部分流体被所述壳体300阻挡后进入所述汇聚环槽220。

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