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绵阳西咏科技有限公司李清宇获国家专利权

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龙图腾网获悉绵阳西咏科技有限公司申请的专利基于人工智能的工业自动控制系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120613290B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510743221.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权基于人工智能的工业自动控制系统及方法是由李清宇设计研发完成,并于2025-06-05向国家知识产权局提交的专利申请。

基于人工智能的工业自动控制系统及方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于人工智能的工业自动控制系统及方法,涉及控制技术领域,本发明包括数据获取模块、掺杂规划模块、掺杂控制模块、预警终端和数据库,根据半导体的用途和晶格结构,以及历史各次掺杂时半导体的各信息,获取掺杂时所使用的离子液、离子注入机的各参数数值,当按照获取的数据控制半导体掺杂时,在各采集时刻分析半导体的掺杂效果,若掺杂效果不佳,则分析半导体各区域的电性和晶格,若存在某一区域的电性不符合要求,则对各掺杂参数数值进行调整,若存在晶格损坏的区域,则分析晶格的损坏系数,并进行退火操作,保障了离子液配置和离子注入机各参数的有效性,也保障了半导体的掺杂效率。

本发明授权基于人工智能的工业自动控制系统及方法在权利要求书中公布了:1.基于人工智能的工业自动控制系统,其特征在于,包括如下模块: 数据获取模块用于从数据库中获取半导体的用途和晶格结构; 掺杂规划模块包括离子液规划单元和离子注入机规划单元: 所述离子液规划单元用于从数据库中获取历史各次掺杂时半导体的晶格结构、用途和所使用的离子液,并基于此时半导体的用途和晶格结构对离子液进行配置; 所述离子注入机规划单元用于从数据库中获取历史各次掺杂时半导体的用途和所用离子液中各离子结构,分析离子注入机的各参数数值; 掺杂控制模块用于当按照规划的离子液和离子注入机的各参数数值对半导体进行掺杂时,按照预设的时间间隔设置各采集时刻,在各采集时刻分析半导体的掺杂效果,若效果不佳,则进行预警,并进行调整和补救; 预警终端用于当掺杂效果不佳时进行预警; 数据库用于存储历史各次掺杂时的各信息、各电学参数的标准数值和标准晶格衍射图案。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人绵阳西咏科技有限公司,其通讯地址为:621000 四川省绵阳市科技城新区创新基地6号楼4楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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