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江苏富乐华功率半导体研究院有限公司;江苏富乐华半导体科技股份有限公司段学锋获国家专利权

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龙图腾网获悉江苏富乐华功率半导体研究院有限公司;江苏富乐华半导体科技股份有限公司申请的专利一种基于气溶胶沉积的高可靠性绝缘涂层及其制备工艺获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120556015B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510691500.2,技术领域涉及:C23C24/04;该发明授权一种基于气溶胶沉积的高可靠性绝缘涂层及其制备工艺是由段学锋;孙日升;王斌;华瞳瞳;季成龙设计研发完成,并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于气溶胶沉积的高可靠性绝缘涂层及其制备工艺在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于气溶胶沉积的高可靠性绝缘涂层及其制备工艺,涉及绝缘涂层技术领域。本发明通过气溶胶沉积技术对铜线表面沉积无机粉末,配合热处理工艺,制备出高可靠性绝缘涂层;通过对粉末粒径和沉积参数的精确调控,显著提升绝缘层的介电强度和电学性能,降低漏电流风险,有效提升铜线的耐腐蚀性、绝缘性和机械强度,同时避免传统高温工艺对铜线性能的损害,具有工艺灵活的特点;通过气溶胶沉积的高速撞击形成的机械锚定,确保涂层在复杂环境下的稳定性,具有强附着力,有效防止涂层剥落。

本发明授权一种基于气溶胶沉积的高可靠性绝缘涂层及其制备工艺在权利要求书中公布了:1.一种基于气溶胶沉积的高可靠性绝缘涂层的制备工艺,其特征在于:包括以下步骤: 步骤一:取无机粉末,干燥筛选后,得到预处理无机粉末;无机粉末为氧化铝; 步骤二:将预处理无机粉末与载气混合,得到气溶胶; 步骤三:将铜线固定在沉积室内,室温条件下,将气溶胶喷射至铜线表面,热处理,得到高可靠性绝缘涂层; 所述氧化铝经过表面改性,表面改性的具体工艺如下: S1:取氧化铝,清洗烘干,与硅烷偶联剂混合,加热反应,离心分散,干燥,得到偶联氧化铝; S2:将偶联氧化铝与正硅酸乙酯混合,加入去离子水,再加入聚乙二醇,调节pH,研磨,得到改性氧化铝; 步骤S1中,氧化铝与硅烷偶联剂的质量比为1:5~10;硅烷偶联剂为γ-氨丙基三乙氧基硅烷;步骤S2中,偶联氧化铝、正硅酸乙酯、去离子水、聚二乙醇的质量比为1:2~3:1~2:0.5~0.8。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏富乐华功率半导体研究院有限公司;江苏富乐华半导体科技股份有限公司,其通讯地址为:224200 江苏省盐城市东台高新区鸿达路88号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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