沈阳工业大学辛义忠获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳工业大学申请的专利一种识别灰度突变的石英晶片缺陷检测系统及方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119959237B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510129633.0,技术领域涉及:G01N21/95;该发明授权一种识别灰度突变的石英晶片缺陷检测系统及方法是由辛义忠;王恩桐;张力军设计研发完成,并于2025-02-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种识别灰度突变的石英晶片缺陷检测系统及方法在说明书摘要公布了:本发明第一方面提出一种石英晶片缺陷检测系统,该检测系统包括相机,所述相机固定在相机固定装置上部,所述相机的下方设置有光源载物台,待检测石英晶片放置于光源载物台上,所述相机连接有图像处理器;基于该检测系统,本发明第二方面提出一种识别灰度突变的石英晶片缺陷检测方法,利用石英晶片的透明特性,在透射光成像条件下采集石英晶片图像,利用石英晶片边界区域的灰度特征,提取石英晶片区域轮廓,并根据所述石英晶片区域轮廓几何特征与所述石英晶片区域的灰度特征来判断晶片是否存在缺陷,提高了石英晶片缺陷检测结果的一致性,降低了石英晶片缺陷的漏检率与误检率。
本发明授权一种识别灰度突变的石英晶片缺陷检测系统及方法在权利要求书中公布了:1.一种采用识别灰度突变的石英晶片缺陷检测系统的检测方法,该检测系统包括相机1,所述相机1固定在相机固定装置4上部,所述相机1的下方设置有光源载物台2,待检测石英晶片5放置于光源载物台2上,所述相机1连接有图像处理器3; 所述相机1为高分辨率工业相机; 所述图像处理器3为工控机或嵌入式板卡; 其特征在于:该检测方法包括以下步骤: 步骤1:获取相机拍摄到的石英晶片图像; 步骤2:将所述石英晶片图像转换为灰度图像,通过识别透射光成像条件下石英晶片边界区域与邻近区域灰度水平差异获取石英晶片区域轮廓; 步骤3:根据所述石英晶片区域轮廓的几何特征与待检测石英晶片在无缺损状态下对应几何特征的典型值来判断待检测石英晶片是否存在缺损; 步骤4:利用自适应直方图均衡化技术处理石英晶片的灰度图像,提高所述灰度图像中石英晶片缺陷区域与邻近区域的对比度; 步骤5:对步骤4中所得自适应直方图均衡化结果图进行二值化处理,分割石英晶片疑似缺陷区域与其余区域,在所述自适应直方图均衡化结果图的二值化结果图中,石英晶片疑似缺陷区域的像素颜色为白色,其余区域像素颜色为黑色; 步骤6:利用所述石英晶片区域轮廓对所述二值化结果图中的疑似缺陷区域进行筛选,将位于石英晶片区域轮廓内的疑似缺陷区域判定为石英晶片真实缺陷区域; 当检测石英晶片为类矩形晶片时,将其区域轮廓拟合为矩形,即令该晶片的最小面积外接轮廓的形状为矩形,并根据如下公式判定类矩形石英晶片是否存在缺损: ; 其中,和分别为所述最小面积外接轮廓两条对角线长度,为待检测石英晶片在无缺损情况下,其对应的最小面积外接轮廓对角线长度的典型值,是一个正数常量,若待检测石英晶片对应的所述最小面积外接轮廓对角线长度不符合上述条件则判定待检测石英晶片存在缺损;若待检测石英晶片对应的所述最小面积外接轮廓对角线长度符合上述条件则判定待检测石英晶片无缺损。
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