上海微崇半导体设备有限公司王菲获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微崇半导体设备有限公司申请的专利一种用于消除时漂的光学校准检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119804479B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411800253.7,技术领域涉及:G01N21/93;该发明授权一种用于消除时漂的光学校准检测方法是由王菲;赵威威;黄崇基设计研发完成,并于2024-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于消除时漂的光学校准检测方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种用于消除时漂的光学校准检测方法。将待测样品和校准片放置在载台上;对校准片进行校准检测,使激发光和探测光同时照射校准片,获取在当前条件下检测到的校准片对探测光的反射信号的测量值IA;对待测样品进行校准检测:使激发光和探测光同时照射待测样品,获取在当前条件下检测到的待测样品对探测光的反射信号的测量值IB;根据测量值IA、IB和在标准条件下检测到的校准片对探测光的反射信号的标准值IS,计算在标准条件下待测样品对探测光的反射信号的真实值IR。本发明通过新增校准片及对应的校准检测步骤,从而实现对待测样品的特征物理量的修正,使测量结果更加精确。
本发明授权一种用于消除时漂的光学校准检测方法在权利要求书中公布了:1.一种用于消除时漂的光学校准检测方法,其特征在于,包括: 将待测样品和校准片放置在载台上,所述校准片的光学性能不受外界环境影响,所述待测样品和校准片在近似相同环境条件下进行校准检测; 对所述校准片进行校准检测:移动载台使所述校准片至待测位置,使激发光和探测光同时照射所述校准片,获取在当前条件下检测到的所述校准片对所述探测光的反射信号的测量值IA; 对所述待测样品进行校准检测:移动载台使所述待测样品至待测位置,使激发光和探测光同时照射所述待测样品,获取在当前条件下检测到的所述待测样品对所述探测光的反射信号的测量值IB; 根据所述测量值IA、IB和在标准条件下检测到的所述校准片对所述探测光的反射信号的标准值IS,计算在标准条件下所述待测样品对所述探测光的反射信号的真实值IR,IA、IB、IS、IR满足以下比例关系:IA-ISIS=IB-IRIR。
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