中国科学院上海技术物理研究所王林获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院上海技术物理研究所申请的专利一种基于对数复合天线集成的碲化铌太赫兹光电探测器及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119789555B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411898965.7,技术领域涉及:H10F30/29;该发明授权一种基于对数复合天线集成的碲化铌太赫兹光电探测器及其制作方法是由王林;胡震;王小云;胡伟达;陈效双;陆卫设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于对数复合天线集成的碲化铌太赫兹光电探测器及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于对数复合天线集成的碲化铌太赫兹光电探测器及制备方法,是利用机械剥离得到的碲化铌材料通过干法转移转移到本征高阻硅衬底上,利用紫外光刻技术制作源、漏电极以及相应的天线结构,并利用电子束蒸发等工艺,制备成对数复合天线碲化铌太赫兹光电探测器。相较于传统的对数天线,该对数复合天线结构对太赫兹波的场强增益更高,使得该对数复合天线碲化铌太赫兹光电探测器对太赫兹波有更高的灵敏度。
本发明授权一种基于对数复合天线集成的碲化铌太赫兹光电探测器及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种基于对数复合天线集成的碲化铌太赫兹光电探测器,包括高阻硅衬底以及设置在高阻硅衬底之上的沟道材料层9;其特征在于:沟道材料层9由碲化铌制成;沟道材料层9的两端分别设置源电极与漏电极; 源电极包括由外向内依次连接的源电极板1、源电极引线2、源电极对数天线3和源电极天线7;漏电极包括由外向内依次连接的漏电极板6、漏电极引线5、漏电极对数天线4和漏电极天线8; 源电极天线7与漏电极天线8在沟道材料层9中心处形成沟道; 源电极天线7为90度螺旋天线,漏电极天线8亦为与源电极天线7相适配的90度螺旋天线,源电极天线7与漏电极天线8在沟道材料层9形成S形对称沟道。
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