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龙图腾网获悉西安电子科技大学广州研究院;西安电子科技大学申请的专利一种线扫共聚焦显微系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119757357B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411897702.4，技术领域涉及：G01N21/88；该发明授权一种线扫共聚焦显微系统是由沈术豪;信廷学;陈雪利设计研发完成，并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种线扫共聚焦显微系统在说明书摘要公布了：本申请涉及缺陷检测技术领域，具体提供一种线扫共聚焦显微系统。线扫共聚焦显微系统包括：光源组件，用于发射第一线光束；多边形扫描振镜，包括多边形振镜本体，多边形振镜本体设置于第一线光束的光路，用于反射第一线光束，并获得第二线光束；多边形扫描振镜绕自身轴线可转动设置，以使第二线光束沿垂直于多边形扫描振镜的方向扫描被测样本，并反射形成第三线光束；分光组件，设置于第一线光束的光路；分光组件包括分光面，分光面用于反射第一线光束，并用于透射第三线光束；探测器组件，设置于第三线光束的光路，用于根据第三线光束获得被测样本的图像。本申请提供的一种线扫共聚焦显微系统，能够提高缺陷检测的准确度和效率。

本发明授权一种线扫共聚焦显微系统在权利要求书中公布了：1.一种线扫共聚焦显微系统，其特征在于，包括： 光源组件，用于发射第一线光束； 多边形扫描振镜，包括多边形振镜本体，所述多边形振镜本体设置于所述第一线光束的光路，用于反射所述第一线光束，并获得第二线光束；所述多边形扫描振镜绕自身轴线可转动设置，以使所述第二线光束沿垂直于所述多边形扫描振镜的方向扫描被测样本，并反射形成第三线光束；所述多边形振镜本体呈棱柱形，垂直于自身轴线方向的截面的形状呈正多边形；所述多边形振镜本体包括多个侧壁面，所述侧壁面用于反射所述第一线光束；所述多边形振镜本体呈正十六棱柱形，所述多边形振镜本体匀速转动，以使所述第二线光束匀速扫描所述被测样本； 分光组件，设置于所述第一线光束的光路；所述分光组件包括分光面，所述分光面用于反射所述第一线光束，并用于透射所述第三线光束； 探测器组件，设置于所述第三线光束的光路，用于根据所述第三线光束获得被测样本的图像； 所述探测器组件包括：集光透镜和线阵探测器；沿所述第三线光束的光路方向，所述集光透镜设置于所述分光组件背离所述振镜的一侧，所述集光透镜用于汇聚透射后的所述第三线光束，以使所述第三线光束被所述线阵探测器接收，获得所述被测样本的图像；沿所述第三线光束的光路方向，所述线阵探测器设置于所述集光透镜背离所述分光组件的一侧；所述线阵探测器用于探测所述第三线光束。

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