西湖大学光电研究院赵鼎获国家专利权
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龙图腾网获悉西湖大学光电研究院申请的专利一种三维超材料结构及其低温电子束加工方法和应用获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119738359B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411931379.8，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权一种三维超材料结构及其低温电子束加工方法和应用是由赵鼎;仇旻;赵康设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种三维超材料结构及其低温电子束加工方法和应用在说明书摘要公布了：本发明涉及一种三维超材料结构及其低温电子束加工方法和应用，三维超材料结构包括自下而上依次布置的金属反射层、透射介质层、多个金属连接层、以及多个金属微米柱组；三维超材料结构在中红外波段折射率传感器中的应用。本发明利用低温电子束曝光‑电子束蒸镀流程的两次循环，即可利用一套设备、在单次进出样的前提下实现多层图案的加工堆叠，形成层间连接紧密、结构强度高的三维超材料结构，且该过程利用水蒸气凝结成无定型冰层作为图案化加工的掩模，所有原料无毒无害，且三维超材料结构的材料和结构简单、最小线宽较大，降低了加工精度的要求，还能利用该方法进行金属微米柱组的高度调控，大大提高了传感灵敏度。
本发明授权一种三维超材料结构及其低温电子束加工方法和应用在权利要求书中公布了：1.一种三维超材料结构，其特征在于：包括自下而上依次布置的金属反射层1、透射介质层2、金属连接层3、以及金属微米柱组4，所述金属微米柱组4包括位于中心的第一金属微米柱、以及多个围绕所述第一金属微米柱布置的第二金属微米柱，所述金属连接层3分别连接所述第一金属微米柱和第二金属微米柱的底部。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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