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龙图腾网获悉美科瑞(江苏)先进材料科技有限公司申请的专利一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过滤装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119588049B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510075531.5，技术领域涉及：B01D29/03；该发明授权一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过滤装置及其方法是由宋军;颜刚设计研发完成，并于2025-01-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过滤装置及其方法在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体加工辅助设备技术领域，具体为一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过滤装置及其方法，包括外桶体、设置于外桶体顶端的预滤装置、转动连接于外筒体内部的双层离心筒、转动连接于预滤装置与双层离心筒中轴线上的转动轴以及设置于转动轴上的搅动装置，双层离心筒的内层与外层上分别设有第一陶瓷过滤膜与第二陶瓷过滤膜。本发明通过预滤装置中设有的滤网与刮除组件可去除氧化铝抛光液中的大颗粒杂质，双层离心筒可对氧化铝抛光液进行分级过滤，同时搅动装置中设有的竖杆、直杆、分离件与清理件可搅动氧化铝抛光液，对第一陶瓷过滤膜与第二陶瓷过滤膜表面进行清理，提高分离效率。

本发明授权一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过滤装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种半导体材料用氧化铝抛光液的分级过滤装置，其特征在于：包括外桶体1、设置于所述外桶体1顶端的预滤装置2、转动连接于所述外桶体1内部的双层离心筒3、转动连接于所述预滤装置2与所述双层离心筒3中轴线上的转动轴4以及设置于所述转动轴4上的搅动装置5，所述双层离心筒3的内层与外层上分别设有第一陶瓷过滤膜31与第二陶瓷过滤膜32，所述转动轴4底端穿过所述双层离心筒3底面后同轴连接有第一齿轮42，所述双层离心筒3底面中心处焊接固定有与所述第一齿轮42相对设置的第二齿轮33，所述外桶体1底座内转动连接有一组对称设置的第三齿轮7，所述第三齿轮7与所述第一齿轮42和所述第二齿轮33均相啮合； 所述预滤装置2包括预滤盒21、设置于所述预滤盒21内部的滤网23以及安装于所述滤网23上方的刮除组件24，所述刮除组件24包括安装于所述转动轴4外侧壁上的固定架241以及安装于所述固定架241上的若干刮板242； 所述搅动装置5包括设置于所述转动轴4外侧壁上的安装架51、若干转动连接于所述安装架51上的竖杆52、设置于所述竖杆52外侧壁上的分离件55以及设置于所述竖杆52上的清理件54，所述安装架51包括若干呈辐射状分布的安装板511，所述安装板511内转动连接有直杆53，位于同一安装板511上的若干所述竖杆52通过所述直杆53传动连接，所述清理件54设置于靠近所述双层离心筒3的内层与外侧内侧壁的所述竖杆52上，所述直杆53上设有若干蜗杆531，所述竖杆52上端设有蜗轮521，所述分离件55上表面设有若干呈辐射状分布的扇叶551； 所述安装板511底端于所述竖杆52对应处设有固定座512，所述竖杆52外侧壁上设有与所述固定座512相适配的限位环522； 所述转动轴4位于所述双层离心筒3内部分的外侧壁上焊接固定有螺旋叶片41，所述螺旋叶片41随所述转动轴4转动螺旋向上； 所述清理件54由清理辊541以及设置于所述清理辊541上的细刷板542与海绵板543组成，所述细刷板542和所述海绵板543的端部分别与所述第一陶瓷过滤膜31和所述第二陶瓷过滤膜32内侧壁相抵接； 所述清理辊541侧壁沿圆周规则开设有若干与所述细刷板542和所述海绵板543尺寸相适配的安装槽5411，所述清理辊541顶端通过若干紧固螺栓545固定有卡环544。

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