株式会社斯库林集团墨周武获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社斯库林集团申请的专利基板处理方法以及基板处理系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542114B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202410678146.5，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权基板处理方法以及基板处理系统是由墨周武设计研发完成，并于2024-05-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理方法以及基板处理系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种基板处理方法和基板处理系统，将在接受了湿法处理的基板的表面堆有有机溶剂的状态的基板从湿法处理装置搬送至超临界处理装置，并使用超临界状态的处理流体使基板干燥，实现减少处理流体的消耗量且降低环境负担的同时提供产量。本发明的基板处理方法执行在湿法处理装置中形成所述堆液状态之后对所述基板施加振动的第1振动附加处理、在所述基板搬送装置中对所述基板施加振动的第2振动附加处理、以及在所述超临界处理装置中在使所述基板与所述超临界状态的所述处理流体接触之前对所述基板施加振动的第3振动附加处理中的至少一个。由此，到基板与超临界状态的处理流体接触为止，使在图案残留的液体与有机溶剂混合，成为无残留液。
本发明授权基板处理方法以及基板处理系统在权利要求书中公布了：1.一种基板处理方法，使基板干燥，所述基板具有形成有图案的图案形成面，而且在所述图案形成面附着有液体，所述基板处理方法的特征在于，包括： a工序，在湿法处理装置中，在通过向所述图案形成面供给有机溶剂而将所述液体置换为所述有机溶剂之后，形成在所述图案形成面堆有所述有机溶剂的堆液状态； b工序，从所述湿法处理装置将所述堆液状态的所述基板搬送至超临界处理装置； c工序，在所述超临界处理装置中，通过使所述堆液状态的所述图案形成面与超临界状态的处理流体接触，使所述基板干燥；以及 d工序，在使所述图案形成面与所述超临界状态的所述处理流体接触之前，一边维持所述堆液状态一边对所述基板附加振动，由此使在所述图案残留的所述液体与所述有机溶剂混合， 所述工序d在所述湿法处理装置中在执行所述工序a之后执行， 在所述工序c中，使基于所述工序d的混合流体溶入超临界状态的所述处理流体。
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