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河南省科学院激光制造研究所余登德获国家专利权

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龙图腾网获悉河南省科学院激光制造研究所申请的专利基于激光改质玻璃基板通孔加工处理方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119501344B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411818768.X,技术领域涉及:B23K26/382;该发明授权基于激光改质玻璃基板通孔加工处理方法及装置是由余登德;江浩庆;柳津;郝宏伟;王金生;杨秋爽;武辉军;时鹏设计研发完成,并于2024-12-11向国家知识产权局提交的专利申请。

基于激光改质玻璃基板通孔加工处理方法及装置在说明书摘要公布了:本发明提供了一种基于激光改质玻璃基板通孔加工处理方法及装置,应用于激光加工技术领域,包括:将确定的贝塞尔光束无衍射传播长度目标横轴中心的目标横轴中心面,与待加工玻璃基板的厚度中心面重合,然后进行待加工玻璃基板的改质处理,能够避免将无衍射传播长度非目标横轴中心面与待加工玻璃基板的厚度中心面重合时,因为无衍射传播长度非目标横轴中心面两侧的光束直径、能量强度不同,而致使待加工玻璃基板的厚度中心面上下两侧改质不均匀的问题,从而使得到的玻璃基板的通孔围绕厚度中心面的上下两部分能得到均匀改质,进而提升后续对通孔刻蚀的质量。

本发明授权基于激光改质玻璃基板通孔加工处理方法及装置在权利要求书中公布了:1.一种基于激光改质玻璃基板通孔加工处理方法,其特征在于,包括: 确定目标贝塞尔光束无衍射传播长度目标横轴中心的目标横轴中心面,所述目标横轴中心面为所述目标横轴中心所在的法向平面; 将所述目标贝塞尔光束无衍射传播长度目标横轴中心的目标横轴中心面,与待加工玻璃基板的厚度中心面重合;将所述目标贝塞尔光束无衍射传播长度目标横轴中心的目标横轴中心面,与待加工玻璃基板待处理面重合,包括:确定目标贝塞尔光束无衍射传播长度的相对横轴中心位置;调整待加工玻璃基板的待处理面的位置,使得待加工玻璃基板的待处理面与所述目标贝塞尔光束无衍射传播长度的相对横轴中心的相对横轴中心面初步重合,所述相对横轴中心面为所述贝塞尔光束无衍射传播长度的相对横轴中心点所在的法向平面;控制所述待加工玻璃基板在所述相对横轴中心面与待加工玻璃基板的待处理面初步重合的位置处移动,并通过配置的CCD相机采集所述待加工玻璃基板的待处理面反射的目标贝塞尔光束的衍射形貌图像;所述CCD相机被配置为能够采集所述待加工玻璃基板待处理面反射的目标贝塞尔光束的衍射形貌图像;当采集的目标贝塞尔光束衍射形貌图像的形貌清晰度以及完整度满足预定条件时,则确定待加工玻璃基板的待处理面与所述目标贝塞尔光束无衍射传播长度目标横轴中心的目标横轴中心面重合; 所述确定目标贝塞尔光束无衍射传播长度的相对横轴中心位置,包括:控制聚焦物镜的移动,并通过光斑分析仪采集所述聚焦物镜位于不同位置处所述目标贝塞尔光束的聚焦光斑图像;根据采集的所述目标贝塞尔光束的聚焦光斑图像进行光斑形貌分析,记录所述目标贝塞尔光束的聚焦光斑第一次形貌完整时所述聚焦物镜的第一位置,以及所述目标贝塞尔光束的聚焦光斑形貌缺失时所述聚焦物镜的第二位置;将所述第一位置与所述第二位置的中心位置,确定为所述目标贝塞尔光束无衍射传播长度的相对横轴中心位置; 控制所述目标贝塞尔光束的所述目标横轴中心面与待加工玻璃基板的厚度中心面重合,对待加工玻璃基板进行改质处理。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人河南省科学院激光制造研究所,其通讯地址为:450016 河南省郑州市郑东新区明理路西、崇德街南;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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