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龙图腾网获悉苏州中特微电子科技有限公司申请的专利一种接近接触式曝光机的工件台获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119439652B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411933183.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种接近接触式曝光机的工件台是由傅舰艇;林世超;宋延奎;李聪设计研发完成，并于2024-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种接近接触式曝光机的工件台在说明书摘要公布了：本发明公开了一种接近接触式曝光机的工件台，水平驱动装置具有沿X轴方向和Y轴方向运动的自由度；旋转台具有绕自身中心轴线旋转的自由度；升降台设置于旋转台的上方，具有沿Z轴方向运动的自由度；Z轴音圈电机设置于旋转台和升降台之间，用于驱使升降台沿Z轴方向活动；球碗调平组件设置于晶圆载台和升降台之间，包括具有碗型腔的球碗座和与碗型腔相适配的球头；碗型腔的底部设有凹腔；球头的球形面与碗型腔的球形内壁面滑动密封配合并封闭凹腔；掩膜版架设置于晶圆载台的上方。本发明能够调整掩膜板和晶圆之间的相对位置和姿态，且实现调平过程的精确控制，有效实现XYZRZ四个自由度的高精度运动和实现调平接触力的精准控制，实用性强。

本发明授权一种接近接触式曝光机的工件台在权利要求书中公布了：1.一种接近接触式曝光机的工件台，包括水平驱动机构、旋转台、升降台、晶圆载台、Z轴音圈电机、掩膜版架、抽真空装置、旋转驱动机构、球碗调平组件；其特征在于： 所述水平驱动装置具有沿X轴方向和Y轴方向运动的自由度； 所述旋转台设置于水平驱动装置上，具有绕自身中心轴线旋转的自由度；所述旋转台的中心轴线沿Z轴方向延伸； 所述旋转驱动机构设置于水平驱动装置上，用于驱使旋转台绕自身中心轴线旋转； 所述升降台设置于旋转台的上方，具有沿Z轴方向运动的自由度； 所述Z轴音圈电机设置于旋转台和升降台之间，用于驱使升降台沿Z轴方向活动； 所述晶圆载台设置于升降台的上方； 所述球碗调平组件设置于晶圆载台和升降台之间，包括具有碗型腔的球碗座和与碗型腔相适配的球头；所述碗型腔的底部设有凹腔；所述球头的球形面与碗型腔的球形内壁面滑动密封配合并封闭凹腔；所述晶圆载台和升降台的两者中，一者上设置所述球碗座，另一者上设置所述球头； 所述抽真空装置与凹腔相连通，用于对凹腔抽真空； 所述掩膜版架设置于晶圆载台的上方，掩膜版架上对应晶圆载台设有掩膜版。

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