中国科学技术大学欧阳祝平获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学技术大学申请的专利一种通过机械堆叠电极制备短沟道晶体管的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119325247B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-12-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411316834.3,技术领域涉及:H10D30/01;该发明授权一种通过机械堆叠电极制备短沟道晶体管的方法是由欧阳祝平;张晓东;曾华凌;黄辰曦;李泽宇;乔振华设计研发完成,并于2024-09-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种通过机械堆叠电极制备短沟道晶体管的方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种通过机械堆叠电极制备短沟道晶体管的方法,属于晶体管加工技术领域,用于解决现有技术中的短沟道电极制备方法的经济化和传统透明聚丙烯树脂性能有待进一步提高的技术问题;本发明包括以下步骤:在洁净化处理后的衬底层表面制备若干个电极,是通过制备一种改性聚丙烯树脂与本发明提供的一种通过机械堆叠电极制备短沟道晶体管的方法相结合,改性聚丙烯树脂的高透明度和抗刮痕性能保证机械堆叠的准确性,其优异的流平性能、耐高温性能以及粘附性能保证转移过程中电极结构的稳定性,二者相配合降低短沟道晶体管的制备成本,又提高其精确度。
本发明授权一种通过机械堆叠电极制备短沟道晶体管的方法在权利要求书中公布了:1.一种通过机械堆叠电极制备短沟道晶体管的方法,其特征在于,包括以下步骤: S1、在洁净化处理后的衬底层1表面制备若干个电极2; S2、在衬底层1和电极2上自下而上依次设置粘附层3和支撑层4,得到复合架构层修饰的衬底层1; S3、将复合架构层从衬底层1上剥离,将复合架构层剪裁至若干个所需的电极材料; S4、选择所需的一个电极材料转移至目标载体5表面,得到电极材料修饰的目标载体,剥离粘附层3和支撑层4,得到短沟道晶体管前驱体; S5、继续选择步骤S1-S3制备的所需电极材料后转移至目标载体5表面,得到短沟道晶体管; 步骤S2中,所述粘附层3和支撑层4的成型方法包括以下步骤: B1、在衬底层1表面旋涂粘附性溶液,将全部的电极2包覆后,转移至温度为80℃的干燥箱中进行真空干燥,保温20-40min,得到表面附着粘附层3的衬底层1,其中,粘附性溶液为15-30wt%改性聚丙烯树脂的丙酮溶液; B2、使用薄板作为支撑层4贴合粘附层3,转移至干燥箱中,干燥箱温度升高至50℃,保温10-15min,进一步得到由电极2粘附层3支撑层4组成的复合架构层,其中,改性聚丙烯树脂的制备方法为:按重量份计称取3-5份3-异氰酸酯基丙基三甲氧基硅烷、8-10份改性聚丙烯树脂前驱体、0.3-0.5份三乙胺和30-40份二甲基亚砜加入到反应釜中,室温下反应2-4h,后处理得到改性聚丙烯树脂; 所述改性聚丙烯树脂前驱体的制备方法为:按重量份计称取3-5份甲基丙烯酸甲酯、5-8份2-羟基丙基-1,2-苯二甲酸-2-[2-甲基-1-氧代-2-丙烯基氧基]乙基酯、0.3-0.5份偶氮二异丁腈和30-40份二甲基亚砜加入到反应釜中,反应釜温度升高至50-70℃,保温反应2-4h,后处理得到改性聚丙烯树脂前驱体; 步骤S5中,短沟道晶体管由以下步骤加工得到: D1、在步骤S1-S3制备得到的剩余电极材料中选择一个所需的电极材料,将所需电极材料的支撑层4一侧贴到玻璃片上,定位于短沟道晶体管前驱体的正上方,并通过精确调节转移台的Z轴高度,保证短沟道晶体管前驱体与所需电极材料之间距离的一致性; D2、调节转移台x、y轴方向的位置,控制所需电极材料和短沟道晶体管前驱体之间两电极的间距,当间距达到要求时,利用转移台将所需电极材料精准贴合到目标载体5上,在贴合状态下对新复合架构层施加300-500Pa的压力,同时加热到100-150℃,维持5-10min,过程中利用激光干涉仪测量和调整所需的电极材料与短沟道晶体管前驱体之间的距离和角度,得到修饰短沟道晶体管前驱体; D3、将修饰短沟道晶体管前驱体放入溶解液中浸泡5-10min,剥离粘附层3和支撑层4后,将材料放入退火机中,退火机温度设置为150-170℃,退火时间设置为1-3h,得到短沟道晶体管。
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